[实用新型]制备涂层、薄膜或复合材料的装置有效
申请号: | 201220600651.0 | 申请日: | 2012-11-14 |
公开(公告)号: | CN203144515U | 公开(公告)日: | 2013-08-21 |
发明(设计)人: | 熊信柏 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
主分类号: | C23C26/00 | 分类号: | C23C26/00 |
代理公司: | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人: | 张全文 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制备 涂层 薄膜 复合材料 装置 | ||
1.一种制备涂层、薄膜或复合材料的装置,其特征在于,包括:盛装有待沉积溶液的溶液槽、待沉积溶液冷却装置、沉积槽、盛装有冷却液的冷却槽;所述溶液槽和所述待沉积溶液冷却装置之间连接有输出管,所述待沉积溶液冷却装置和所述沉积槽之间连接有进液管,所述沉积槽和所述溶液槽连接有回流管;该回流管管路上设有高压循环泵,所述沉积槽设置于所述冷却槽内,所述沉积槽内还设有电极发生装置,所述冷却槽内还设有超声波发生装置。
2.如权利要求1所述的制备涂层、薄膜或复合材料的装置,其特征在于,所述电极发生装置包括产品、两个电极,两电极通过导线与交流电源电连接。
3.如权利要求1所述的制备涂层、薄膜或复合材料的装置,其特征在于,所述超声波发生装置包括超声振动板和超声波发生器,所述超声振动板置于冷却槽外且和所述超声波发生器连接。
4.如权利要求1所述的制备涂层、薄膜或复合材料的装置,其特征在于,所述的待沉积溶液冷却装置包括冷水机、冷却管和第一连接管,所述第一连接管连接所述冷水机和所述冷却管,所述冷却管的两端分别连接所述输出管和所述进液管。
5.如权利要求4所述的制备涂层、薄膜或复合材料的装置,其特征在于,所述冷却槽和所述冷水机之间连接有第二连接管。
6.如权利要求1所述的制备涂层、薄膜或复合材料的装置,其特征在于,所述的冷却液为水。
7.如权利要求2所述的制备涂层、薄膜或复合材料的装置,其特征在于,所述交流电源为交流稳压电源。
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