[实用新型]曝光机光罩结构的水平角度调整机构有效

专利信息
申请号: 201220594768.2 申请日: 2012-11-12
公开(公告)号: CN202904220U 公开(公告)日: 2013-04-24
发明(设计)人: 张鸿明 申请(专利权)人: 川宝科技股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G03F1/64
代理公司: 北京市浩天知识产权代理事务所 11276 代理人: 刘云贵;韩龙
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 曝光 机光罩 结构 水平 角度 调整 机构
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种曝光机光罩结构的水平角度调整机构,尤指具有面对面活动连接的第一斜面连接单元及第二斜面连接单元者。

背景技术

曝光机的光罩结构为制作电路板电路的主要结构,一般的光罩结构通常具有承载台及设置于承载台上的光罩,当曝光机欲制作不同电路板的电路时,首先需从曝光机移出承载台以取下先前的光罩,接着再将不同的光罩设置于承载台并将承载台移回曝光机内,以制作不同的电路板电路。然而,前述更换光罩的过程却容易使得光罩与对应物的平行程度产生误差,因此,如何创作出一种曝光机光罩结构的水平角度调整机构,以使其可调整光罩结构的水平角度以使光罩与对应物平行,将是本实用新型所欲积极公开的特征。

发明内容

有鉴于上述公知的技术缺憾,实用新型人有感其未臻于完善,遂竭其心智悉心研究克服,凭其从事该项产业多年的累积经验,进而研发出一种曝光机光罩结构的水平角度调整机构,以期达到可调整光罩结构的水平角度以使光罩与对应物平行的目的。

为达上述目的,本实用新型提供一种曝光机光罩结构的水平角度调整机构,其包含:至少三个水平向驱动部,其水平活动设置于该曝光机,该等水平向驱动部分别具有第一斜面连接单元;至少三个水平向驱动源,其设置于该曝光机以分别驱动该等水平向驱动部;至少三个垂直向被动部,其垂直活动设置于该曝光机,该等垂直向被动部分别具有第二斜面连接单元以分别与该等第一斜面连接单元面对面活动连接;以及至少三个万向接头,其分别以一侧连接该等垂直向被动部,及分别以另一侧连接该光罩结构。

上述机构还包含至少三个水平向座体、至少三垂直向座体或以上两者,其设置于该曝光机,该等水平向驱动部分别水平活动设置于该等水平向座体,该等垂直向驱动部分别垂直活动设置于该等垂直向座体。

上述机构的该等水平向驱动部分别具有一水平向导轨,该曝光机具有至少三个水平向导槽,该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽;或,该等水平向驱动部分别具有水平向导槽,该曝光机具有至少三个水平向导轨,该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽。

上述机构的该等水平向驱动部分别具有水平向导轨,该等水平向座体分别具有水平向导槽,该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽;或,该等水平向驱动部分别具有水平向导槽,该等水平向座体分别具有一水平向导轨,该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽。

上述机构的该等水平向驱动源设置于该曝光机,该等水平向驱动源分别具有驱动单元,该等水平向驱动部分别具有一被动单元,该等驱动单元分别与该等被动单元连接。

上述机构的该等水平向驱动源设置于该曝光机或分别设置于该等水平向座体,该等水平向驱动源分别具有驱动单元,该等水平向驱动部分别具有被动单元,该等驱动单元分别与该等被动单元连接。

上述机构的该等垂直向被动部分别具有垂直向导轨,该曝光机具有至少三垂直向导槽,该等垂直向导轨分别活动设置于该等垂直向导槽;或,该等垂直向被动部分别具有垂直向导槽,该曝光机具有至少三垂直向导轨,该等垂直向导轨分别活动设置于该等垂直向导槽。

上述机构的该等垂直向被动部分别具有垂直向导轨,该等垂直向座体分别具有垂直向导槽,该等垂直向导轨分别活动设置于该等垂直向导槽;或,该等垂直向被动部分别具有垂直向导槽,该等垂直向座体分别具有垂直向导轨,该等垂直向导轨分别活动设置于该等垂直向导槽。

上述机构的该等第一斜面连接单元分别具有斜向导轨,该等第二斜面连接单元分别具有斜向导槽,该等斜向导轨分别活动设置于该等斜向导槽;或,该等第一斜面连接单元分别具有斜向导槽,该等第二斜面连接单元分别具有斜向导轨,该等斜向导轨分别活动设置于该等斜向导槽。

因此,本实用新型的曝光机光罩结构的水平角度调整机构可调整光罩结构的水平角度以使光罩与对应物平行。

附图说明

图1为本实用新型较佳具体实施例的分解示意图。

图2为本实用新型较佳具体实施例的组合示意图。

图3为本实用新型较佳具体实施例动作的示意图一。

图4为本实用新型较佳具体实施例动作的示意图二。

图5为本实用新型较佳具体实施例动作的示意图三。

【主要组件符号说明】

1          曝光机

11         光罩结构

111        光罩

12         平移机构

2          水平向驱动部

21         第一斜面连接单元

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