[实用新型]制备电子工业用氮化物的氨气尾气处理装置

权利要求书

1.制备电子工业用氮化物的氨气尾气处理装置，其特征在于：包括氨气尾气输入管、换热器、氨分解炉、水冷器、第一吸附器和尾气排放管；

所述换热器分为壳通道和管通道，所述壳通道和管通道互不连通；

所述氨气尾气输入管与换热器的壳通道进口端连接相通，所述换热器的壳通道出口端通过第一管道与氨分解炉进口端连接相通，所述氨分解炉的出口端通过第二管道与换热器管通道进口端连接相通，所述换热器管通道出口端通过第三管道与水冷器进口端连接相通；

所述第一吸附器内包括第一吸附再生通道，所述第一吸附再生通道内设有分子筛；

所述水冷器的出口端通过第四管道与第一吸附再生通道进口端连接相通；

所述第一吸附再生通道出口端通过第六管道连接尾气排放管。

2.根据权利要求1所述的氨气尾气处理装置，其特征在于：所述第六管道通过第十一管道外接再生气管道；所述第一吸附再生通道进口端通过第十三管道与氨气尾气输入管连接相通；所述第三管道上设有第一阀门；所述第六管道上设有第二阀门；所述第十一管道上设有第三阀门；所述第十三管道上设有第四阀门。

3.根据权利要求2所述的氨气尾气处理装置，其特征在于：所述第一吸附器内还包括第一加热通道；所述第一吸附再生通道和第一加热通道互不连通；所述第三管道通过第八管道与第一加热通道进口端连接相通；所述第一加热通道出口端通过第九管道与水冷器的进口端连接相通；所述第九管道上设有第五阀门。

4.根据权利要求3所述的氨气尾气处理装置，其特征在于：所述第八管道上设电加热器。

5.根据权利要求1～4中任一所述的氨气尾气处理装置，其特征在于：所述第一吸附器内设有若干列管，该列管作为第一加热通道；所述列管外的第一吸附器内的空间形成第一吸附再生通道。

6.根据权利要求1～4中任一所述的氨气尾气处理装置，其特征在于：所述第一吸附器外壁上贴覆绝热保温隔离层。

7.根据权利要求1～4中任一所述的氨气尾气处理装置，其特征在于：所述换热器和氨分解炉外壁上贴覆有绝热保温层。

8.根据权利要求1～4中任一所述的所述的氨气尾气处理装置，其特征在于：所述氨气尾气处理装置还包括第二吸附器，所述第二吸附器内包括第二吸附再生通道；所述第二吸附再生通道内设有分子筛；所述水冷器的出口端通过第五管道与第二吸附再生通道进口端连接相通；所述第五管道上设有第六阀门；所述第二吸附再生通道出口端通过第七管道连接尾气排放管；所述第七管道上设有第七阀门。

9.根据权利要求8所述的所述的氨气尾气处理装置，其特征在于：所述第七管道通过第十二管道外接再生气管道，所述第十二管道上设第八阀门；所述第二吸附再生通道的进口端通过第十四管道与氨气尾气输入管连接相通；所述第十四管道上设有第九阀门。

10.根据权利要求9所述的所述的氨气尾气处理装置，其特征在于：所述第二吸附器内还包括第二加热通道；所述第二吸附再生通道和第二加热通道互不连通；所述第三管道通过第八管道和第十五管道与第二加热通道进口端连接相通；所述第二加热通道出口端通过第十管道与水冷器的进口端连接相通；所述第十管道上设有第十阀门。