[实用新型]一种改进型扩散设备的石英炉门

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种检验台，尤其是涉及一种改进型扩散设备的石英炉门。 

背景技术

扩散设备用的石英炉门是一种圆盖形的石英制品，其熔点：1740℃，莫氏硬度：7，堆密度：2.2g/cm3石英炉门的特性为：1.耐高温2.耐腐蚀3.热稳定性好4.透光性能好5.电绝缘性能好。在正常工艺时，石英炉门与石英炉管紧密贴合，使石英炉管保持在一定的管压下正常工作，也保证了有毒气体不会泄露。 

在平时日常保养中发现部分机台的炉门出现小幅松动现象（但不会掉落），这主要是由于固定炉门的U型固定支架上的高温编织绳与石英炉门的固定把手的外横截面接触，再有机台运作时，炉门时常做开启、关闭动作，受力的作用致使高温编织绳断裂，造成石英炉门有小幅松动现象。这样会对机台炉管的密封性产生影响，也直接造成硅片的方阻值异常。 

发明内容

本实用新型的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种密封性好、损耗低的改进型扩散设备的石英炉门。 

本实用新型的目的可以通过以下技术方案来实现：一种改进型扩散设备的石英炉门，包括炉门，U型固定支架，高温编织绳，其特征在于，还包括隔热垫圈，该隔热垫圈设置在炉门上，炉门上设有固定把手，所述的U型固定支架与炉门把手贴合，所述的高温编织绳设置在U型固定支架与炉门的固定把手之间。 

所述的炉门为密封石英门。 

所述的隔热垫圈上设有凹槽，作为U型固定支架的固定部件。 

所述的U型固定支架为钢质材料，U型固定支架嵌入隔热垫圈的凹槽内。 

所述的高温编织绳为石英棉材料。 

所述的固定把手的尺寸为202±1mm。本实用新型的改进是将石英炉门固定把手的长度尺寸从原有的182±1mm放大至202±1mm，使U型固定支架上安装的高温编织绳与石英炉门固定把手的光滑面接触，可改善现有技术缺陷。 

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点： 

一、密封性能好：把石英炉门的固定把手的长度尺寸从原有的182±1mm放大至202±1mm，使U型固定支架、高温编织绳与石英炉门固定把手的光滑面接触，更好地起到固定作用，确保炉管的密封性。 

二、降低石英炉门及石英炉管损耗的机率：本技术改善能消除炉门的小幅松动，保证炉门在做开启、关闭动作时受力均匀，从而降低损耗机率。 

三、减少不良片：炉门的密封性得到了保证，也降低方阻异常片的出现。 

附图说明

图1为本实用新型石英炉门的装配侧视图； 

图2为本实用新型石英炉门的装配俯视图； 

图3为本实用新型石英炉门的装配正视图。 

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。 

实施例1 

如图1-3所述，一种改进型扩散设备的石英炉门，包括炉门，U型固定支架2，高温编织绳，还包括隔热垫圈3，该隔热垫圈设置在炉门上，炉门上设有固定把手1，所述的U型固定支架与炉门把手贴合，所述的高温编织绳设置在U型固定支架与炉门的固定把手之间。 

本实用新型的改进是将石英炉门固定把手1的长度尺寸从原有的182±1mm放大至202±1mm，使U型固定支架上安装的高温编织绳与石英炉门固定把手的光滑面接触，可改善现有技术缺陷。 

所述的炉门为密封石英门，通过炉门的关闭可达到密封炉体的作用。 

炉门的固定把手1为石英炉门的固定部件。 

所述的隔热垫圈3上设有凹槽，作为U型固定支架2的固定部件，对石英炉门也有保温的作用。 

所述的U型固定支架2为钢质材料，与石英炉门的固定把手贴合，起到固定作用，U型固定支架2嵌入隔热垫圈3的凹槽内，通过隔热垫圈3固定。 

所述的高温编织绳为石英棉材料，此材料能耐高温，安装时置于U型固定支架与石英炉门的固定把手中间，高温编织绳位置4如图3所示，起到保护与固定石英炉门的固定把手的作用。