[实用新型]一种过滤器清洗装置

说明书

技术领域

本实用新型属于化工清洗机械设备技术领域，尤其是涉及一种过滤器清洗装置。

背景技术

近年来，LED以其能耗低、长寿命、无污染等优点得以迅猛发展，然而生产LED的核心设备MOCVD （Metal-Organic Chemical Vapor Deposition 金属有机化合物化学气相沉淀）在生产过程中会产生大量的单质砷、单质磷及微量的砷化合物、磷化合物。为了防止这些有毒有害物质堵塞排气管路和对环境造成污染，在设备的排气管路上需要安装过滤器，将单质砷、单质磷及砷化合物、磷化合物过滤在过滤器内。过滤器为循环使用的零件，经过清洗后便可再次使用。但是目前清洗过滤器的装置和工艺目前却存在缺陷。

过滤器过滤后的主要成分固态单质砷和单质磷，在对其进行清洗时，利用单质砷和单质磷在氧过量的情况下易被氧化成五氧化二砷和五氧化二磷，而五氧化二砷和五氧化二磷易溶于水生成砷酸和磷酸的特性，一般采用氧化水洗法对过滤器进行清洗从而除去杂物。而目前的清洗液一般为双氧水和氨水按体积一比一配比而成的混合液。双氧水具有强氧化性，与单质砷、单质磷反应可生成五氧化二砷和五氧化二磷。五氧化二砷、五氧化二磷与水生成砷酸和磷酸。由于过滤器外壳为易被酸性液体腐蚀的金属，所以采用氨水对反应过程中生成的酸液进行中和从而保护过滤器外壳不被腐蚀。另外过滤器内的单质磷和单质磷都有强烈的刺激性气味并且有剧毒，清洗液中的氨水易分解挥发出刺激性气体氨气，对操作工人的健康会产生极不利的影响。

发明内容

为了弥补上述过滤器在清洗过程中释放出的有毒刺激性气体损害人体污染环境的缺陷，本实用新型提出一种过滤器清洗装置。

实现上述有益效果的技术方案为：一种过滤器清洗装置，包括密封的清洗室、与清洗室连通的通风机构，分别固定在清洗室左下方的工件进出机构、右下方的清洗机构，清洗室内还固定有传送机构，传送机构固定在工件进出口和清洗机构的上方，在清洗室左侧壁上固定有操作机构，操作机构的高度在工件进出口与传送机构之间。本技术方案中，过滤器的清洗空间为密封的清洗室，过滤器通过工件进出机构进入清洗室，在清洗室内由操作机构将工件放置到传送机构上，由传送机构将工件送到超声波清洗池进行清洗，过滤器清洗完毕后再由传送机构传送回到工件进出机构进行取出；本方案中，整个清洗过程都在密封的清洗室内进行，对清洗室需要工人用手进行的操作由工人通过操作机构完成，工人不与内部接触，避免了工人与有毒有害气体的接触，同时，在清洗室上还连通有通风机构，通风机构与外界处理装置连接，将清洗室内的气体排出清洗室，保证在放入和取出工件的时候清洗室内的空气清洁。

通风机构包括与清洗室连通的通风管和与通风管连接在一起的风机。本技术方案中，通风管道与清洗室连通，在使用的时候风机可以迅速将清洗室内的有害气体排出，提高了清洗效率，节约了清洗时间。

工件进出机构包括工件进出口、密封在工件进出口上的密封门，连接在密封门上方的压紧汽缸和连接在密封门下方平移汽缸。本技术方案中，工件进出机构的工件进出口在清洗作业进行时由密封门密封住，阻止内部与外部的空气或液体流通，保证清洗过程中产生的有害气体不会从工件进出口逸出；压紧气缸控制密封门的上下移动，负责打开或者关闭密封门，同时在清洗时将密封门压紧，提高密封门的气密性；平移气缸在密封门打开后将密封门平移到一旁，便于工件进出清洗室。

所述清洗机构包括超声波清洗池，与超声波清洗池连通的清洗液入口，开在超声波清洗池上方的溢出口和连通在超声波清洗池下方的排液口。本技术方案中，清洗液入口为超声波清洗池内注入清洗液，多余的清洗液通过溢出口排出超声波清洗池，超声波清洗池对过滤器进行清洗，清洗完成后的废液通过排液口流出超声波清洗池，整个清洗机构结构简单，清洗池采用超声波的方式进行清洗，清洗过程无需工人照看，传送机构可以将过滤器直接放置到超声波清洗池内进行清洗，简化了清洗步骤。

传送机构包括与清洗室固定在一起的传送导轨，连接在传送导轨上的传送滑块，与传送滑块和清洗室侧壁分别固定在一起的传送汽缸，与传送滑块固定在一起且垂直于传送导轨的伸缩汽缸和连接在伸缩汽缸的末端的工件托盘。本技术方案中，过滤器放置在工件托盘上，由伸缩气缸抬升工件托盘将过滤器带入清洗室，在工件进出机构关闭后，传送滑块在传送汽缸的带动下沿传送导轨将工件托盘平移到清洗池上方，然后伸缩气缸将托盘下降到清洗池内以便过滤器进行清洗；清洗完毕后，再由伸缩气缸将托盘升出清洗池，通过传送滑块送出工件进出机构，完成一次对过滤器的清洗。