[实用新型]基板托架及基板检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械领域，尤其涉及一种基板托架及基板检测装置。

背景技术

通常，在基板制成后，需要利用宏观微观检测仪等基板检测装置对基板进行宏观结构和微观结构的检测，以判断该基板是否为合格产品。在利用基板检测装置对基板进行检测之前，需要将基板放置于基板检测装置上的所预定的恰当位置上，一般无法将基板直接放置在该位置上，此时需要借助基板检测装置上的对位校正装置的帮助，通过对位校正装置对基板的位置进行调整，使得基板位于所预定的恰当位置上。

发明人在实现本发明的过程中发现，基板检测装置上设置有多个基板托架，基板直接放置在各基板托架上，若放置基板时，基板未能够被某一基板托架所支撑，此时基板未被支撑的部分可能会发生向下形变，则对位校正装置对基板的位置进行调整时，会将基板向该未支撑基板的基板托架一侧推，则基板发生向下形变的部分可能会受到基板托架的顶阻而损坏。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种基板托架及基板检测装置，可保证基板被每一个基板托架所支撑，可减小基板由于对位校正装置的调整而损坏的可能性，间接地增大对位校正装置的修正能力。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种基板托架，包括：

托架本体，所述托架本体包括均为平板状结构的固定部、连接部和延伸部，所述固定部具有第一通孔，通过所述第一通孔及螺钉将所述托架本体固定于基板检测装置上，所述固定部位于所述连接部的一侧，与所述连接部垂直；所述延伸部位于所述连接部的另一侧，向与所述固定部所在之处相反的方向延伸，与所述连接部垂直，并且所述延伸部具有腰形通孔；

滑动部件，所述滑动部件为平板状结构，所述滑动部件具有第二通孔，所述滑动部件与所述托架本体的延伸部通过依次穿过所述第二通孔、所述托架本体的延伸部的腰形通孔的螺钉相配合，以使得所述滑动部件可相对于所述托架本体移动。

所述基板托架还包括：

用于支撑基板的支撑部件，所述支撑部件设置于所述滑动部件上。

所述支撑部件具有螺纹，所述滑动部件具有第一螺孔，所述支撑部件的螺纹与所述滑动部件的第一螺孔相配合。

所述滑动部件具有用于与具有螺纹的固定装置配合紧固所述支撑部件的第二螺孔。

所述支撑部件设置于所述滑动部件上，所述支撑部件内设置有部分突出的滚珠，所述滚珠的突出部分与基板接触。

所述第一通孔为腰形通孔。

一种基板检测装置，包括上述基板托架。

在本实用新型实施例的技术方案中，提供了一种基板托架，该基板托架具有托架本体和滑动部件，托架本体具有向基板检测装置中心延伸的延伸部，使得基板可以尽可能的通过一次放置就可放置在每一个托架本体的延伸部上，降低了对位校正装置调节基板位置时损坏基板的可能性。进一步的，滑动部件可相对于托架本体移动，当托架本体的延伸部的长度不够时，可通过调节滑动部件与所述延伸部的相对位置调节托架本体向基板检测装置中心延伸的长度，保证了基板可放置在每一个托架本体上，进一步降低了对位校正装置调节基板位置时损坏基板的可能性，间接地增大对位校正装置的修正能力。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中的基板托架的结构示意图一；

图2为本实用新型实施例中的基板托架的结构示意图二；

图3为本实用新型实施例中的基板托架的结构示意图三。

附图标记说明：

1—托架主体；     11—固定部；      111—第一通孔；

12—连接部；      13—延伸部；      131—腰形通孔；

2—滑动部件；     21—第二通孔；    22—第一螺孔；

23—第二螺孔；    3—支撑部件；     31—滚珠。

具体实施方式

实施例一

本实用新型实施例提供一种基板托架，如图1所示，该基板托架包括：