[实用新型]六工位排气台真空系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空排气领域，尤其是涉及一种六工位排气台真空系统。 

背景技术

自X射线被发现以来，X光管作为主要的射线源在生物、医学、工业、科研等领域得到了广泛的应用，并产生了巨大的经济效益和社会效益。在X光管制作中，排气工艺的成败至关重要，它直接影响到产品的质量和寿命，因此，排气台设计的好坏是X光管制作的关键。 

排气台主要由真空系统、烘烤系统、充气系统组成。真空系统是排气台的核心，由真空泵、真空容器、真空阀门、快接接头及管道构成。排气台的真空获得是由机械泵和分子泵组成，机械泵作为前级泵，分子泵作为主抽真空泵，再经过真空容器、真空阀门、接头及管道进入烘烤系统。真空阀门、接头与管道的连接大多采用法兰盘和橡胶密封圈进行密封，这种连接方式存在的缺点包括：连接处的密封圈经常损坏，一旦一处连接处渗漏，将使真空系统真空度、抽排气速率下降，严重时可导致整个排气系统无法连续工作。另外，真空室出气口与管道通过接头连接占用面积较大，致使现有排气台普遍为四工位，排气台工作效率低。 

实用新型内容

本实用新型的目的就是为了解决上述问题，提供一种提高排气台工作效率和质量的六工位排气台真空系统。 

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案： 

一种六工位排气台真空系统，其具有： 

两并列布置的第一、第二真空容器； 

作为主抽真空泵的分子泵，其位于真空容器下侧且与真空容器相连； 

作为前级泵的机械泵，其与分子泵相连；以及 

多个设于真空容器的真空阀，其特征在于，所述第一、第二真空容器通过焊接方式分别连接三个真空阀。 

本实用新型的有益效果是：六工位排气台真空系统通过直接焊接组合阀于真 空室上，解决了传统真空系统连接方式复杂、连接处容易渗漏气体等难题，将工作腔与阀门形成一体，既保证了真空系统的高真空度，提高了抽排气速率，也使整个结构紧凑，占用面积小，增加了工位，提高了排气台工作效率。 

附图说明

图1是六工位排气台真空系统结构示意图。 

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。 

一种六工位排气台真空系统，其包括：真空容器、分子泵、机械泵、真空阀。 

参见图1，六工位排气台真空系统的真空容器为两并列布置的第一、第二真空室11，12。 

六工位排气台真空系统还具有：作为主抽真空泵的分子泵21,22，其位于真空容器下侧且与真空容器相连，分子泵21与第一真空室11相连，分子泵22与第二真空室12相连；作为前级泵的机械泵31,32，机械泵31与分子泵21相连，机械泵32与分子泵22相连。 

传统的法兰连接方式使得单个真空室上方设置的真空阀的数量偏少，这与缺乏相应的安装位相关，因此，本案中，第一、第二真空容器通过焊接方式分别连接三个真空阀41，42,43,44,45,46，从而使得单个真空室多出一个真空阀安装位，使得四工位的排气台变成六工位，真空阀采用等间距方式布置。 

位于真空阀上方，具有加热炉5。 

以上所述仅为本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅限于上述实施方式，凡是属于本实用新型原理的技术方案均属于本实用新型的保护范围。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型的原理的前提下进行的若干改进，这些改进也应视为本实用新型的保护范围。