[实用新型]有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置

说明书

技术领域

本实用新型属于显示技术领域，具体涉及一种AMOLED生产工艺中的用于有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置的设计。

背景技术

在平板显示技术中，有机发光二极管（Organic Light-Emitting Diode，OLED）显示器以其轻薄、主动发光、快响应速度、广视角、色彩丰富及高亮度、低功耗、耐高低温等众多优点而被业界公认为是继液晶显示器（LCD）之后的第三代显示技术。主动式OLED（Active Matrix OLED，AMOLED）也称为有源矩阵OLED，AMOLED因通过在每个像素中集成薄膜晶体管（TFT）和电容器并由电容器维持电压的方法进行驱动，因而可以实现大尺寸、高分辨率面板，是当前研究的重点及未来显示技术的发展方向。

有机发光二极管（OLED）的制造工序可粗略地划分为光刻工序、蒸镀工序和封装工序三大工序。其中，蒸镀工序用于蒸镀空穴传输层、发光层、电子传输层和阴极等各功能层，封装工序用于防止由于发光层与水分和氧气接触导致的热化及寿命的缩短现象。

普通封装工程是指在不锈钢金属Cap或者封装用Cap glass上贴上干燥剂后，利用UV胶合剂在有机物及阴极蒸镀工序完成后的有机发光二极管(OLED)上使用粘附的过程。最近正在开发通过在蒸镀面上直接蒸镀钝化层（passivation layer）来形成有机膜的技术。这个技术比起现在的封装技术的优点是价格更加低廉，封装后产品更薄且更轻，便于做出柔软的有机发光二极管（OLED）。然而形成钝化膜（Passivation）需要CVD或Sputter等其他的蒸镀装备。所以使用该工序不可避免的需要对接现有量产线上的有机物蒸镀装备CVD和钝化层蒸镀设备Sputter。现有的量产线上的有机物蒸镀是下部的有机物因受热向上部气化的方式蒸镀到基板上，基板位于上方，蒸镀面朝下。但是因为钝化层（passivation layer）蒸镀装备要求基板在下面，蒸镀面向上，所以有机物蒸镀机和钝化层蒸镀机对接时必须需要对基板进行翻转。

现在常用的手段是通过机械手来使基板翻转。但是这会占用很多工作空间，使作业时间很长。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有OLED生产工艺中存在的上述问题，提出了一种有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置。

本实用新型的技术方案为：一种有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置，包括：腔体，所述腔体为桶状结构，两端分别与有机物蒸镀机和钝化层蒸镀机连接；

其特征在于，

所述腔体内设有一基板传递结构，用于传递和翻转基板；所述基板传递结构包括基板支架和回转轴，所述回转轴与腔体连接并可绕自身轴线转动，所述基板支架固定于回转轴上与回转轴一起转动；

所述回转轴连接一动力机构，所述动力机构与有机物蒸镀机和钝化层蒸镀机协调控制回转轴转动；

所述基板支架上设有多个保护垫，用于在基板支架夹持基板的过程中保护基板不受损坏。

本实用新型的有益效果：本实用新型的有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置连接现有量产线上的有机物蒸镀机和钝化膜蒸镀机，其主要部件是内部的基板传递机构，所述基板传递机构首先通过基板支架固定基板，然后在动力机构的带动下整个基板支架和基板随着回转轴转动180°后被传递到下一级设备，从而提高了量产线的工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的装置与有机物蒸镀机和钝化层蒸镀机连接的平面结构示意图。

图2为本实用新型的装置的AA向剖视图。

图3为本实用新型的装置的BB向剖视图。

具体实施方式

下面结合附图和具体的实施例对本实用新型作进一步的阐述。

本方案的目的是实现OLED量产线上有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接生产过程中对基板的翻转和传递。

本实施例的一种有机物蒸镀机与钝化层蒸镀机对接用基板旋转装置，如图2所示，包括：腔体1，所述腔体1为桶状结构，两端分别与有机物蒸镀机和钝化层蒸镀机连接；腔体1内设有一基板传递结构，用于传递和翻转基板；所述基板传递结构包括基板支架3和回转轴5，所述回转轴5与腔体1连接并可绕自身轴线转动，所述基板支架3固定于回转轴5上与回转轴5同时转动；

如图1所示，