[实用新型]检漏仪用内部校准漏孔

说明书

技术领域：

本实用新型与氦质谱检漏仪的内置校准漏孔有关。

背景技术：

    目前国内外氦质谱检漏仪所用的内置校准漏孔大多数采用薄膜渗透型，利用石英薄膜球泡的渗氦速率制成的，但温度对渗氦率的影响很大，温度系数为3%/℃左右，使用时需要进行修正，否则温度变化会对测试结果带来一定的影响。

实用新型内容：

本实用新型的目的是提供一种结构简单，使用方便，漏率稳定可靠的检漏仪用内部校准漏孔。

本实用新型是这样实现的： 

本实用新型检漏仪用内部校准漏孔，储气瓶1的一端与内套管3连接，内套管除了出口端5外，其余部分轴向位于储气瓶内储气瓶另一端通过气管与气源阀4连接，内套管内轴向有毛细管2，毛细管2的一端通过内套管端面上的小孔与储气瓶1相通，毛细管2的另一端与过滤盖6的内端面连接，过滤盖6的外螺纹与内套管3的出口端5的内螺纹配合。

毛细管2与内套管端面上的小孔动配合，与过滤盖6内端面固连或与过滤盖6内端面的盲孔动配合。 

    本实用新型结构简单，使用方便，漏率稳定可靠，受温度影响小。采用毛细管型，温度对漏率的影响很小，温度系数为0.3%/K，使用时不需要进行修正，能够提供稳定可靠的氦气泄漏率。 

附图说明：

图1为本实用新型结构图。

具体实施方式：

     内套管3先与储气瓶1的一侧焊接，然后再焊接储气瓶1的另一侧；内套管3上有略大于毛细管2外径的小孔，毛细管插内套管3中，缝隙填入AB胶。过滤盖6通过螺纹与出口端5连接，过滤盖为6为烧结型，可以过滤外面的灰尘和水气。出口端5位于储气瓶1外侧。

     本实用新型的工作原理 

 根据一定压力下，毛细管两端存在压差，向外进行气体的泄漏。

将气源阀4与高纯氦气瓶相连，打开气源阀4，向储气瓶1内充入0.3Mpa压力的氦气后，关闭气源阀4，切断与氦气瓶的连接。储气瓶1内的氦气会通过毛细管2经装有过滤盖6的出口端5流出，毛细管的泄漏率通过下面的方法校准确定： 

将本校准漏孔与氦检漏仪相连，记录此时在检漏仪上的输出值U_L，,然后再将参照漏孔接入检漏仪，记录输出值U_R，则本校准漏孔的漏率为：

    Q_L=U_L/U_R ×Q_R

式中：Q_L  －校准漏孔漏率，Pam³/s

      U_L －校准漏孔在检漏仪上产生的输出值

      U_R －参照漏孔在检漏仪上产生的输出值

      Q_R －参照漏孔漏率（由上级计量机构测定）

主要技术参数

1. 漏率： 10^-8Pa.m³/s

2. 漏孔类型：毛细管

3. 介质：99.999% He

4. 不确定度：±15%

5. 有效期：一年。