[实用新型]一种防止硅片损伤的自动脱胶机有效
| 申请号: | 201220542787.0 | 申请日: | 2012-10-23 |
| 公开(公告)号: | CN202881453U | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
| 发明(设计)人: | 于松 | 申请(专利权)人: | 镇江大成新能源有限公司 |
| 主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
| 代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
| 地址: | 212132 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 防止 硅片 损伤 自动 脱胶 | ||
【权利要求书】:
1.一种防止硅片损伤的自动脱胶机,包括支架(1),其特征在于:还包括挡板(2),所述挡板(2)成对设置在所述支架(1)底部,并根据晶棒长度调节两个所述挡板(2)之间的距离。
2.根据权利要求1所述的一种防止硅片损伤的自动脱胶机,其特征在于:所述挡板(2)底部开设固定槽(3)。
3.根据权利要求1所述的一种防止硅片损伤的自动脱胶机,其特征在于:所述挡板(2)两侧开设固定孔(4)。
4.根据权利要求1所述的一种防止硅片损伤的自动脱胶机,其特征在于:所述挡板(2)为树脂挡板。
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