[实用新型]超低漏电探针卡

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种探针卡，特别是涉及一种超低漏电探针卡。

背景技术

漏电值是探针卡诸多性能参数中的重要参数之一。漏电值的控制，在设计和制造探针卡过程中，通过选用不同材料、调整制作工艺得以实现。普通探针卡的漏电值一般在10-9安培（纳安级），低漏电探针卡的漏电值要求在10-12安培（皮安级），超低漏电探针卡的漏电值则控制在10-15安培（法安级）。探针卡的漏电特性主要反映在以下方面：一、在低漏电卡的制作过程中容易产生针和针之间的漏电。二、在低漏电卡的制作过程中容易产生针和铝环之间的漏电。三、在低漏电卡的制作过程中容易产生针和环氧之间的漏电。四、在低漏电卡的制作过程中容易产生针和PCB之间的漏电。

现有探针卡的缺点如下：做好的探针卡漏电值一般在20PA/10V，不能满足更低要求低漏电卡制作的要求。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种超低漏电探针卡，其提高漏电参数稳定性，满足更低要求低漏电卡制作的要求。

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：一种超低漏电探针卡，其特征在于，其包括印刷电路板、陶瓷环、同轴针、绝缘管、同轴管、同轴线、信号测试端，陶瓷环固定在印刷电路板的下端，同轴针与绝缘管的一端固定，绝缘管的另一端与同轴管的一端固定，同轴管穿过陶瓷环上，同轴针通过同轴线与信号测试端连接。

本实用新型的积极进步效果在于：本实用新型的漏电值控制在1PA/10V以内，提高漏电参数稳定性，保证各节点的漏电值降到最低，满足更低要求低漏电卡制作的要求。

附图说明

图1为本实用新型超低漏电探针卡的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图给出本实用新型较佳实施例，以详细说明本实用新型的技术方案。

如图1所示，本实用新型超低漏电探针卡包括印刷电路板（PCB）1、陶瓷环2、同轴针3、绝缘管4、同轴管5、同轴线6、信号测试端7，陶瓷环2固定在印刷电路板1的下端，同轴针3与绝缘管4的一端固定，绝缘管4的另一端与同轴管5的一端固定，同轴管5穿过陶瓷环2上，同轴针3通过同轴线6与信号测试端7连接。

本实用新型的漏电值控制在1PA/10V以内，提高漏电参数稳定性，保证各节点的漏电值降到最低，满足更低要求低漏电卡制作的要求。

上述实施例不作为对本实用新型的限定，凡在本实用新型的范围内所作的任何修改、等同替换、改进等，均属于本实用新型的保护范围。