[实用新型]一种双工作模式MEMS光学探头

权利要求书

1.一种双工作模式MEMS光学探头，包括带有窗口座的探头管壳和设于所述探头管壳内的探头主体，其特征在于，所述探头主体包括主体基座、带基座的MEMS微镜、与光纤连接的第一透镜组件和第二透镜组件；与外部驱动电路电连接的所述MEMS微镜固定于所述主体基座前端；所述第一透镜组件固定与所述主体基座一侧，其通过所述MEMS微镜的横向偏转实现前向或侧前向扫描光束的前向扫描或侧前向扫描；所述第二透镜组件固定于所述主体基座另一侧，其通过所述MEMS微镜的横向偏转实现侧向扫描光束的侧向扫描。

2.如权利要求1所述的一种双工作模式MEMS光学探头，其特征在于，所述第一透镜组件和第二透镜组件同时采集经MEMS微镜反射回来的样品漫反射光，或者仅有其中一路采集样品漫反射光进入OCT图像处理系统。

3.如权利要求1所述的一种双工作模式MEMS光学探头，其特征在于，所述窗口座设于所述主体基座前端，所述侧向扫描光束和前向或侧前向扫描光束透过所述窗口座分别对样品进行扫描。

4.如权利要求1或3所述的一种双工作模式MEMS光学探头，其特征在于，所述窗口座采用对工作波长光透明的材料制成或在所述窗口座上形成两个采用平面或曲面窗片进行密封的窗口。

5.如权利要求4所述的一种双工作模式MEMS光学探头，其特征在于，所述MEMS微镜的电连接方式是在所述主体基座上直接形成，或者采用PCB、陶瓷电路板安放于所述主体基座上的相应位置后形成电连接通路。

6.如权利要求1或5所述的一种双工作模式MEMS光学探头，其特征在于，所述主体基座前端与后端分别设有通过电连接的前端电接口和后端电接口；所述MEMS微镜与所述前端电接口连接。

7.如权利要求6所述的一种双工作模式MEMS光学探头，其特征在于，所述主体基座上下两端分别设有凹槽，所述第一透镜组件和第二透镜组件分别设于所述凹槽内。

8.如权利要求7所述的一种双工作模式MEMS光学探头，其特征在于，所述第一透镜组件和第二透镜组件包括玻璃管外壳，所述玻璃管外壳内设有依次连接的光纤、毛细玻璃管和格林透镜，所述第一透镜组件还包括设于所述格林透镜外端面的三棱镜，所述三棱镜一直角面与所述格林透镜的外端面胶粘连接，所述第二透镜组件的格林透镜的出射端面具有4-8度倒角。

9.如权利要求8所述的一种双工作模式MEMS光学探头，其特征在于，所述第一透镜组件和第二透镜组件采用透镜和光纤在主体基座凹槽内直接形成，第二透镜组件的格林透镜外端面与三棱镜一直角面胶粘连接。 

10.如权利要求6所述的一种双工作模式MEMS光学探头，其特征在于，所述MEMS微镜包括边框、双金属驱动臂、微镜 、双金属韧带和带有焊盘的基座，所述边框四侧内壁分别通过所述双金属驱动臂与微镜连接，所述双金属驱动臂与双金属韧带采用电热方式工作，通过给所述双金属驱动臂和双金属韧带施加预定频率的电压信号实现微镜的偏转；所述边框底端通过所述双金属韧带与基座连接；通过控制所述双金属韧带的弯曲程度控制所述微镜的镜面与水平面的角度。

11.如权利要求10所述的一种双工作模式MEMS光学探头，其特征在于，所述双金属驱动臂和所述双金属韧带是多层具有不同热膨胀系数的材料构成。

12.如权利要求10所述的一种双工作模式MEMS光学探头，其特征在于，所述边框为圆形或方形或多边形结构。

13.如权利要求1所述的一种双工作模式MEMS光学探头，其特征在于，所述探头管壳截面为圆形或多边形，其采用医学兼容的不锈钢或玻璃或有机高分子聚合物制成。