[实用新型]一种高纯镓氧化渣刮板装置有效

专利信息
申请号: 201220527320.9 申请日: 2012-10-15
公开(公告)号: CN202861391U 公开(公告)日: 2013-04-10
发明(设计)人: 康云飞;乔文;钟晓露 申请(专利权)人: 南京隆润半导体材料有限公司
主分类号: B22D43/00 分类号: B22D43/00
代理公司: 北京嘉予铭知识产权代理有限责任公司 11407 代理人: 彭晓云
地址: 211511 江苏省南京市化学工业园新*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 高纯 氧化 渣刮板 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种高纯镓氧化渣刮板装置。

背景技术

高纯镓的提纯生产中,尽管采取了措施隔绝空气,但仍然不可避免的要接触空气中的氧气,就会有一定量的镓被氧化,生成一种氧化物。此种氧化物颜色为银白色,有的会呈现黄色或者是黑色。这种高纯镓的氧化物,其中夹富集着高纯镓中的杂质,金属和非金属类别的杂质会较多的富集在氧化物中,此外,氧化物中的氧元素,对于高纯镓应用与半导体器件的性能有影响,必须可靠的去除。氧化渣相对于高纯镓,由于体积酥松,密度比高纯镓小,因此容易漂浮在液态镓表面。这给氧化渣的去除提供了一个很好的条件。目前氧化渣的去除,会通过过滤等方式,使用过滤材料分离相对酥松的氧化物。此方法耗费能量和时间,且容易造成二次污染。不适合高纯度镓氧化渣的去除。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种高纯镓氧化渣刮板装置,解决了上述问题。

本实用新型所要解决的技术问题是通过以下技术方案来实现的:

一种高纯镓氧化渣刮板装置,其特征在于:包括机械机构、正刮板、反刮板和氧化渣收集容器;所述机械机构连接并带动正刮板垂直上下运动、圆周运动或水平移动,所述机械机构连接并带动反刮板水平方向往复运动;所述氧化渣收集容器设在正刮板和反刮板相切时的正下方。

所述机械结构由伺服电机和其带动的同步齿形带组成。

所述机械结构手控运动或者通过自控程序控制运动。

所述正刮板和反刮板的材质选用硬塑料。

所述硬塑料为聚乙烯、聚丙烯或聚四氟乙烯。

本实用新型相对于现有技术的有益效果是:

本实用新型采用可靠的往复循环机械运动,可以连续的将高纯镓表面的氧化渣刮除,取代了过滤等复杂操作,高效可靠;本装置可以减轻氧化渣去除的繁重体力劳动,提高效率;本装置可设置在洁净的手套箱内,杜绝污染;本装置采用的材质均可使用耐化学品的塑料,不会污染高纯镓;本装置可以通过与自控装置对接,设置在流水线等连续操作线上,批量工业化生产。

附图说明

图1本实用新型结构示意图

图中,1-伺服电机,2-同步齿形带,3-正刮板,4-反刮板,5-氧化渣收集容器,6-高纯镓液体容器

具体实施方式

图1所示,一种高纯镓氧化渣刮板装置,其特征在于:包括机械机构、正刮板3、反刮板4和氧化渣收集容器5;所述机械机构连接并带动正刮板3垂直上下运动、圆周运动或水平移动,所述机械机构连接并带动反刮板4水平方向往复运动;所述氧化渣收集容器5设在正刮板3和反刮板4相切时的正下方。

所述机械结构由伺服电机1和其带动的同步齿形带2组成。

所述机械结构手控运动或者通过自控程序控制运动。

所述正刮板3和反刮板4的材质选用硬塑料。

所述硬塑料为聚乙烯、聚丙烯或聚四氟乙烯。

使用实例1:将盛有高纯镓液体的容器固定在该装置下方,手控机械机构带动正刮板向下运动,目视当正刮板接触高纯镓液体表面时停止,再手控机械机构带动正刮板水平圆周运动,将氧化渣刮除,此时氧化渣由于表面张力的作用会粘附在刮板上,然后机械机构带动正刮板向上运动,脱离液态镓,再水平运动至正反刮板的切线处停止,此时手控反刮板与正刮板相切运动,将粘附在正刮板上的氧化渣去除,掉落在氧化渣收集器中。

使用实例2:将盛有高纯镓液体的容器固定在装置下方,由设定的程序自动控制机械机构运动,带动正刮板向下运动,当正刮板接触高纯镓液体表面时停止,再带动正刮板水平圆周运动,将氧化渣刮除,然后再向上运动,脱离液态镓,再水平运动至正反刮板的切线处停止,此时反刮板运动,将粘附在正刮板上的氧化渣去除,掉落在氧化渣收集器中。

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