[实用新型]一种匹配器及等离子体加工设备

权利要求书

1.一种匹配器，包括电流调节网络，所述电流调节网络用于调节射频电源输入感应线圈内的电流，其特征在于，所述电流调节网络包括：n个固定电容和n个通断控制器，

其中，第m个所述固定电容与第m个所述通断控制器串联形成第m个电容网络单元，将n个所述电容网络单元并联获得电容并联网络，将n个所述通断控制器选择性地导通而调节所述电容并联网络的电容值，从而调节所述感应线圈内的电流，其中，n为大于2的整数，m为1至n之间的整数。

2.根据权利要求1所述的匹配器，其特征在于，所述电流调节网络包括第一输出端和第二输出端，分别连接第一感应线圈和第二感应线圈；

所述电流调节网络还包括电感和第一电容，所述电感与所述第一电容串联后并联在所述第一输出端和所述第二输出端之间；所述电容并联网络的一端与所述第二输出端连接，另一端接地；

通过调节所述电容并联网络的电容值，来调节所述第一感应线圈和所述第二感应线圈内的电流值。

3.根据权利要求1所述的匹配器，其特征在于，所述电流调节网络包括第一输出端和第二输出端，分别连接第一感应线圈和第二感应线圈；

所述电流调节网络还包括电感和第二电容，所述电感与所述电容并联网络串联后并联在所述第一输出端和所述第二输出端之间；所述第二电容的一端与所述第二输出端连接，另一端接地；

通过调节所述电容并联网络的电容值，来调节所述第一感应线圈和所述第二感应线圈内的电流值。

4.根据权利要求1所述的匹配器，其特征在于，所述电流调节网络包括第一输出端和第二输出端，分别连接第一感应线圈和第二感应线圈；

所述电流调节网络包括电感和两个所述电容并联网络，所述电感与其中之一所述电容并联网络串联后并联在所述第一输出端和所述第二输出端之间；另一所述电容并联网络的一端与所述第二输出端连接，另一端接地；

通过调节所述电容并联网络的电容值，来调节所述第一感应线圈和所述第二感应线圈内的电流值。

5.根据权利要求1所述的匹配器，其特征在于，还包括：

电流控制器，用于根据用户设定的所述感应线圈内的电流值计算所述电容并联网络的电容值，并根据所述电容并联网络的电容值将n个所述通断控制器选择性地导通。

6.根据权利要求5所述的匹配器，其特征在于，还包括：

电流传感器，用于监测所述感应线圈内的电流值，并将监测到的所述感应线圈内的电流值发送至所述电流控制器。

7.根据权利要求1所述的匹配器，其特征在于，所述通断控制器为继电器或二极管。

8.根据权利要求1所述的匹配器，其特征在于，还包括：

阻抗匹配网络，用于使射频电源与负载之间的阻抗匹配；

阻抗传感器，用于检测射频传输线上的电压、电流、前向功率以及反向功率；

阻抗控制器，用于根据所述射频传输线上的电压、电流、前向功率以及反向功率获得阻抗调节量；

执行单元，用于根据所述阻抗调节量调节所述阻抗匹配网络的输入阻抗，从而使射频电源与负载之间的阻抗匹配。

9.一种等离子体加工设备，包括射频电源、匹配器、感应线圈以及反应腔室，所述感应线圈设置在所述反应腔室的外侧并与所述射频电源连接，所述射频电源借助所述感应线圈向所述反应腔室内提供射频功率，所述匹配器设置在所述射频电源与所述感应线圈之间，其特征在于，所述匹配器采用权利要求1-8任意一项所述的匹配器。