[实用新型]晶圆盒抓扣器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体生产过程中的运输装置，尤其涉及一种晶圆盒的抓扣器。

背景技术

半导体晶圆在生产制造的过程中，需要在密封无尘的条件下进行。传统以洁净室生产晶圆的方式是将生产设备置于洁净室内，然而建设一个一级的洁净室需要昂贵的建设成本，并且还需要额外的运营及净化服务成本以维护该设施。为了提高生产效率，降低晶圆厂的建设和运营费用，标准机械界面（SMIF，Standard Mechanical Interface）技术得以应用和推广。

在标准机械界面中，晶圆盒抓扣器设在晶圆传输装置中，通过抓扣器抓住晶圆盒，然后通过一系列的机械运动载入到后续的工艺中，请参考图1，现有技术中的抓扣器包括一个抓扣片101，抓扣片101上设有一个弯折部，当抓扣器在载入晶圆盒100时，抓扣片101与和晶圆盒100的接触点只是一个点，由于重力的作用，随着传输抓扣器使用时间的增长，抓扣器的抓扣能力会慢慢减退，进而导致晶圆盒的滑脱。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种抓扣能力更强的晶圆盒抓扣器。

为了解决这一技术问题，本实用新型提供了一种晶圆盒抓扣器，安装于标准机械界面的操作臂上，包括缓冲卡座和抓扣片，所述缓冲卡座设置于操作臂的下表面，所述抓扣片设置于所述操作臂末端的立面外侧，所述抓扣片包括连接臂、第一弯折部与第二弯折部，所述连接臂的一端与操作臂的末端侧面活动连接，所述连接臂的另一端与所述第一弯折部的一端连接，所述第一弯折部的另一端与所述第二弯折部的一端连接，所述第一弯折部相对所述连接臂朝所述缓冲卡座方向弯折，所述第二弯折部相对所述第一弯折部朝所述缓冲卡座方向弯折。

优选的，所述抓扣片通过一伸缩块与操作臂活动连接。

优选的，所述第二弯折部与第一弯折部之间的夹角为145度。

优选的，所述抓扣片为一体成型的部件。

优选的，所述抓扣片为金属材质。

本实用新型通过在抓扣片的末端增加一个弯折部，即第二弯折部，改变了抓扣片运输过程中的受力状况，有效地提升了抓扣器的抓扣能力，同时增加了传输过程中的安全系数，不仅如此，两个弯折部的设计使得抓扣器在长期的受力运动中不容易变形，进一步避免了晶圆盒脱落的风险。

附图说明

图1是现有技术的抓扣器的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例的晶圆盒抓扣器的结构示意图；

图3是本实用新型一实施例的晶圆盒抓扣器的使用状态的结构示意图；

图4是本实用新型一实施例的缓冲卡座的结构示意图

图1中，100—晶圆盒；102—抓扣片；

图2至4中，201—操作臂；202—伸缩块；203—连接臂；204—第一弯折部；205—第二弯折部；206—缓冲卡座；207—限位部；208—晶圆盒；209—缓冲卡座的上表面；210—提手处。

具体实施方式

以下将结合图2和图4，对本实用新型的一实施例进行详细的描述，其为本实用新型的一优选的实施例，同时，将结合图3，对使用本实用新型提供的晶圆盒抓扣器的使用方法进行详细介绍。

本实施例提供了一种晶圆盒抓扣器，安装于标准机械界面的操作臂201上，包括缓冲卡座和抓扣片，所述缓冲卡座206设置于操作臂的下表面，所述抓扣片设置于所述操作臂201末端的立面外侧，所述抓扣片包括连接臂203、第一弯折部204与第二弯折部205，所述连接臂203的一端与操作臂201的末端侧面活动连接，所述连接臂203的另一端与所述第一弯折部204的一端连接，所述第一弯折部204的另一端与所述第二弯折部205的一端连接，所述第一弯折部204相对所述连接臂203朝所述缓冲卡座260方向弯折，所述第二弯折部205相对所述第一弯折部204朝所述缓冲卡座260方向弯折。

本实用新型提供的晶圆盒抓扣器通过在第一弯折部204的末端增加了第二弯折部205，增加了抓扣片与晶圆盒208的接触点，有效地提升了抓扣器的抓扣能力，同时增加了传输过程中的安全系数，不仅如此，两个弯折部的设计使得抓扣器在长期的受力运动中不容易变形，进一步避免了晶圆盒208脱落的风险。

在本实施例中，如图2所示，第二弯折部205设在第一弯折部204的末端，两者分别相对于连接臂203与第一弯折部204环绕着缓冲卡座沿着顺时针的方向弯折。其有利于第一弯折部204与第二弯折部205与晶圆盒208充分接触。