[实用新型]微转机构

说明书

技术领域

本实用新型是关于一种微转机构，尤其是指一种具有三轴转向移动的微转机构，通过利用两轴向间夹设有旋转轴的设置，使微转动作更为顺畅，且可对应所需而搭配微转平台组数与驱动机制，达到符合工作件的需求，使其提高加工精度。

背景技术

随着高科技产业的发展，产制精度的要求也愈来愈高，于工具机、各种产业机械、量测仪器的高精度化，再加上超精密加工机、半导体制程装置、电子资讯机器、原子力显微镜等机具的精度已经由微米、次微米到达微/纳米等级。

载具平台是影响上述机具精度最主要的因素之一，而目前已经有多种型式的载具平台，如单轴、双轴或三(多)轴式，而可知的是单轴与双轴的精度以不符现今的需求；而三(多)轴式主要为以多个驱动系统控制一个以上的轴向运动，包括平移运动与旋转运动，使其具有多轴同动的特性，如中国台湾公告第M420825号(CN202264472)一种贴合机工作平台对位机构，其包括：一支架，其顶面设有一上平台，而该上平台中央设有一定位轴座，其四角则分别设有套孔；一升降马达，设于支架底部，该升降马达上方设有一螺杆，该螺杆的上端对应设于上平台的定位轴座；一活动板，设于支架与上平台间，于其中央设有与螺杆对应的具内螺牙的套轴，其四角则设有对应上平台其套孔的滑杆；一上活动板，于上平台上方并与滑杆的上端连接，并于其四角设有座台；四对位滑动器，设于上活动板其座台上，该对位滑动器包含有二下滑轨、二下滑座、一上滑轨及一上滑座，其中，二下滑轨设于座台上，而下滑轨上设于具滑槽的下滑座，该下滑座上则垂直跨设有上滑轨，上滑轨另垂直设有一具滑槽的上滑座；至少四转盘，设于上滑座外侧上方；至少三位移马达，呈二平行及至少一垂直设于上活动板，其前端设有至少与三对位滑动器其上滑轨及二下滑座连接的螺杆；一工作平台，设于对位滑动器其上滑座的转盘。虽此结构设置包含到工作台升降、位移与偏转的作动，但其具有组数的限定，因此在大型工作件上会产生精度不足的缺失，同时，轴向的设置为以两直线运动机制上方设置一转盘，使其在运动过程会导致有某些角度限制，无法顺畅转动的缺失。

或中国台湾公告第M429543号一种对位机构，包含：一基座；一平台；一承载座，设置于该基座并承载该平台，该承载座包含多个线性滑轨以及一转动机构，该等线性滑轨沿二互相垂直的方向设置，且其中一线性滑轨的一部分固定于该基座，该转动机构的一部分固定于该平台；以及复数个驱动模组，设置于该基座并承载该平台，该等驱动模组位于该承载座的周围，并沿二互相垂直的方向设置，各该驱动模组具有一滑轨、一滑块以及一旋转体，该滑块沿该滑轨移动，该滑轨连结于该平台，该旋转体连结于该滑块。而此结构为于中央组设一承载座，因此当基座或平台的形体无法符合时，该承载座并无法适当组装于基座，换言之，此结构具有基座限制的缺失。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种微转机构，以在改善现有技术的缺失，通过利用两轴向间夹设有旋转轴的设置，使微转动作更为顺畅，且可对应所需而搭配微转平台组数与驱动机制，达到符合工作件的需求，使其提高加工精度。

为此，本实用新型提出一种微转机构，其于底座上设有至少四微转平台组及至少三驱动模组，且多个所述微转平台组上方对应组设工作平台：

所述微转平台组为由基板、中承座、转承座及一上承座所组成，所述基板对应组设在所述底座上，而所述基板上方设有中承座，且所述基板与所述中承座间设有能于第一方向相对位移滑动的滑轨组件，而于所述中承座上方设有转承座，于所述中承座与所述转承座间设有能相互旋动的转轴组件，再于所述转承座上方设有上承座，于所述转承座与所述上承座间设有能于第二方向相对位移滑动的滑轨组件，而所述上承座对应与所述工作平台组设；

所述驱动模组由一动力机构、能经所述动力机构驱动而产生位移的作动件及一连接座所组成，且所述作动件固设于连接座，而所述连接座对应与所述微转平台组结合。

如上所述的微转机构，其中，所述转轴组件为于所述中承座上对应穿组的一转轴，而所述转轴一端定位在所述转承座上。

如上所述的微转机构，其中，所述转轴组件为能于所述中承座与所述转承座间相互对应转动的滚子转盘。

如上所述的微转机构，其中，所述动力机构为伺服马达，或音圈马达，或线性马达，或压电马达。

如上所述的微转机构，其中，所述动力机构为伺服马达，或音圈马达，或线性马达。

如上所述的微转机构，其中，所述驱动模组对应设置于所述微转平台组的一侧边，所述中承座一侧对应与所述连接座结合。