[实用新型]高通量半导体加工应用的体系结构有效
| 申请号: | 201220514603.X | 申请日: | 2012-10-09 |
| 公开(公告)号: | CN202948905U | 公开(公告)日: | 2013-05-22 |
| 发明(设计)人: | 宋坡玲 | 申请(专利权)人: | 宋坡玲 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 222100 江苏省连云*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 通量 半导体 加工 应用 体系结构 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种高通量半导体加工应用的体系结构。这种采用多通路蜂窝式结构的新型设计,设计精良工艺高端。从而提供了一种大大提升了半导体加工应用的结构体系,仿生物结构模式的引入,把半导体加工应用提升到了一个新的高度。
背景技术
目前,公知的半导体加工应用体系结构,一般单片式组合模式,这种模式不但部件繁多,而且所能提供的电流通量也不大。本实用新型是一种高通量半导体加工应用的体系结构,通过仿生学原理采用蜂窝式构筑结构,不但产生功率更大,而且其结构牢固,大大改善了目前半导体加工应用的系统结构的缺陷,这点创新设计在商业运营推广中是一种极大的竞争优势,可贵的是这项技术设计方案合理实用,并把仿生学的理念灵活运用在半导体结构上,在思维上打破成规,从而带来了新的技术革命。
发明内容
为了克服目前传统的半导体加工应用体系结构所存在的缺陷,本实用新型提供了一种高通量半导体加工应用的体系结构,由于其牢固又新颖的结构模式,能够产生高效的电流通量,从而实现更高效的工作率,完善设备的功能。通过此项技术创新的产品能更好的被运用及推广在商业及工业制造领域。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种高通量半导体加工应用的体系结构,包括:蜂窝形结构 ,高效电流流通管,其特征是:采用了仿生物学原理通过蜂窝式的结构构造,高效电流流通管被安装于蜂窝形结构内。蜂窝式结构的优势在于结构稳固且美观,同时具有高通量的实用性,大大提高了工作效率,并且其结构摒弃了反复的工作零件,在结构上一目了然更便于维修,从而也就实现了设计精良拆卸简便的目的,大大提高了半导体加工应用体系的工作性能。也借由蜂窝式的建构原理,在工作运用上更具灵活变通性,由于结构的完整性更便于实现体系结构在半导体系统中的载入,在实现高效率电流交互的同时能合理分配各环节的工作职能。这种高通量半导体加工应用的体系结构的设计比起传统的半导体加工应用体系结构设计更加适用于工业加工领域,更加能发挥出提高工作效率的职能,扩大了使用范围,并且也可以在更多领域运用此项技术创新从而带来更多的收益。
本实用新型的有益效果是,在实际的运用过程中,此项实用新型提供了一种高通量半导体加工应用的体系结构,通过仿生学构筑原理摒弃了繁琐的工作零件,运用蜂窝式结构优势得到整齐划一且极具灵活性的结构体系,大大提高了结构所能起到的工作效率。例如当系统运作时,蜂窝式的结构可提供多渠道高性能的电流通量,从而能更高效地实现半导体加工应用体系结构的工作职能。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的设计原理图。
图中 1. 实用新型整体 ,2. 蜂窝形结构 ,3. 高效电流流通管。
具体实施方式
在图1中,高通量半导体加工应用的体系结构,蜂窝形结构2中的高效电流流通管3大大提高了半导体加工应用体系结构的工作效率。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





