[实用新型]一种扩散炉石英炉管有效

专利信息
申请号: 201220501756.0 申请日: 2012-09-28
公开(公告)号: CN202809006U 公开(公告)日: 2013-03-20
发明(设计)人: 张虎 申请(专利权)人: 中电电气(南京)光伏有限公司
主分类号: C30B31/10 分类号: C30B31/10;C30B31/16;H01L31/18
代理公司: 江苏圣典律师事务所 32237 代理人: 程化铭
地址: 211100 江苏省南京*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 扩散 石英 炉管
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种用于电池片生产用扩散炉石英炉管,具体涉及扩散炉石英炉管的排气方式的改进。

背景技术

现有扩散炉全都采用尾部排气即自炉尾插入一根排气管,工艺过程中其反应废气通过炉内排气管从炉尾排出。如图1所示,扩散工艺中残余的废气会自炉口进入排气管流向炉尾并经过尾液瓶排掉,由于排气管道很长(2250MM)其中P2O5经过炉尾排气管伸出段时,由于温度的骤降,和周围的水汽反应,生成稠状具腐蚀性的液体偏磷酸     P2O5+H2O=2HPO3 随着稠状偏磷酸在尾管壁的聚集(此时可看到尾管处有少许液体存在),经过的P2O5微晶颗粒有一部分会附着在稠状偏磷酸上在此聚集生长。遇水汽时又发生上述生成偏磷酸的反应。不断附着的P2O5颗粒和生成的稠状HPO3形成类似混凝土状的结构直至完全堵塞排气管(整个过程约20-25天)。并不断的对排气管进行腐蚀,50天-70天排气管就会断裂。自排气管堵塞直至断裂整个工艺过程都处于不可控状态,电池片品质会不可避免的下降同时造成维护成本的上升和维护周期的缩短。 

实用新型内容

本实用新型所要解决的问题在于,克服现有技术存在的缺陷,提供一种石英炉管,采用在炉口左右双侧面排气技术,可有效避免排气管因堵塞造成断裂给工艺和设备维护带来的损失,延长石英炉管的使用寿命。

本实用新型扩散炉石英炉管,其特征是:在石英炉管的炉口左右两侧各设置一排气口;还设置一接液瓶,所述接液瓶为密闭容器,其顶部设有进气管和排气管;所述石英炉管上的两个排气口共同接入到接液瓶的进气管,接液瓶的进气管连接一转接管。

反应废气P2O5、HPO3通过石英炉管的炉口左右两侧的排气口进入接液瓶,冷凝后经转接管进入酸排管道排放掉。接液瓶和转接管非常短,反应废气P2O5、HPO3无法在管壁聚集,部分废气会以液态的形式存放在接液瓶其余则被酸排抽走。

本实用新型石英炉管,制备安装简单实用,没有排气管,降低了成本,延长了炉管使用周期,同时保证电池片的品质。

附图说明

图1是现有技术的扩散炉石英炉管的排气管路示意图。

图2本实用新型扩散炉石英炉管结构示意图。

图3是图2的右视图。

图4是本实用新型扩散炉石英炉管的接液瓶结构示意图。

图5是图4中的A-A剖面图。

图6是图4的俯视示意图。

图7是本实用新型扩散炉石英炉管总装结构示意图(俯视)。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

如图2、3所示,扩散炉石英炉管1,在石英炉管的炉口左右两侧各设置一排气口2。图4、5、6反映的是接液瓶3的结构,所述接液瓶为密闭容器,其顶部设有进气管4和排气管5。如图7所示,所述石英炉管上的两个排气口共同接入到接液瓶的进气管,接液瓶的进气管连接转接管6。转接管连接酸排管道。

反应废气P2O5、HPO3通过石英炉管的炉口左右两侧的排气口进入接液瓶,冷凝后经转接管进入酸排管道排放掉。接液瓶和转接管非常短,反应废气P2O5、HPO3无法在管壁聚集,部分废气会以液态的形式存放在接液瓶其余则被酸排抽走。

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