[实用新型]一种氦质谱背压检漏充氦加压节气节能装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及电子元器件无损检测技术领域，尤其涉及一种氦质谱背压检漏充氦加压节气节能装置。

背景技术

电子元器件的氦质谱背压检漏首先要对元器件加压充氦，然后在用氦质谱检漏仪检测漏率值。在加压充氦步骤，要将被检元器件放置在氦气加压室内，预先对氦气加压室抽真空至压力小于1kPa，再将高纯度的氦气充入氦气加压室内，按规定的时间持续保压，在实际工作中，往往会遇到元器件数量很少，无法装满整个氦气加压室的情况，如果直接进行充氦加压，则需要用较长的时间才能把氦气加压室预抽空至压力小于1kPa，然后用氦气时由于加压室内空间过大就要耗费大量的氦气来填充空间。这样就浪费了电能、氦气，生产效率也不高。发明内容

本实用新型要解决的技术问题：提供一种氦质谱背压检漏充氦加压节气节能装置，以解决对较少数量元器件进行加压充氦对氦气、电能的浪费和生产效率不高等问题。

本实用新型技术方案：

一种氦质谱背压检漏充氦加压节气节能装置，它包括圆柱形铝合金块，在圆柱形铝合金块上有一个与圆柱形铝合金块同轴的圆槽，圆槽上有一个手柄。

手柄距离圆槽底部距离为20-30毫米。

圆槽直径为100毫米-150毫米。

本实用新型的有益效果：

把本实用新型放入氦气加压室内，把被检元器件放在本实用新型上表面，盖上氦气加压室盖板并紧固密封，然后开启真空泵对加压时内预抽真空至内部压力小于10kPa，之后关闭真空泵，开始加压时内充入规定压力的高浓度氦气并保持一定时间，由于本实用新型直径略小于氦气加压室直径，在最大量占据加压室内多余空间的同时，与加压室内壁的间隙也可以保证氦气在加压室内均匀扩散，能充满被检电子元器件周围的空间。本实用新型占据氦气加压室内的多余空间，使预抽真空的空气量减少，降低了充氦气前预抽空的时间，同样也减少了氦气的使用量。达到了节约电能、氦气和提高生产效率的目的，解决了对较少数量元器件进行加压充氦对氦气、电能的浪费和生产效率不高等问题。

附图说明：

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型A-A面剖视图。

具体实施方式：

一种氦质谱背压检漏充氦加压节气节能装置，它包括圆柱形铝合金块1，在圆柱形铝合金块1上有一个与圆柱形铝合金块1同轴的圆槽2，圆槽2上有一个手柄3，手柄3距离圆槽2底部距离为20-30毫米，圆槽2直径为100毫米-150毫米。

本实用新型圆柱形铝合金块1的直径要小于氦气加压室的直径，高度要低于加压室的高度，以方便本实用新型能够进出加压室。