[实用新型]测辐射热计

说明书

本发明涉及测辐射热计，特别是红外测辐射热计，以及制造该测辐射热计的方法。本发明也涉及热记录图像传感器，其用于提供放射红外光形式的电磁辐射的对象的热记录图像，所述热记录图像传感器包括多个这样的测辐射热计。本发明也涉及包括这样的热记录图像传感器的医学设备。 

WO01/64277A2公开了一种用于检测动脉内脆弱的斑块的设备。该设备包括具有远端和近端的伸长杆。检测器组件被固定在接近伸长杆远端的伸长杆上。在一个范例中，检测器组件726包括基底742和覆盖物744，它们限定传感器阵列腔室746。覆盖物744通过接合物748密封地固定在基底742上。多个像素751被设置在检测器组件726的基底742的顶部表面上以获得条状斑块和附近血管壁的热像。每一像素包括由基底742限定的腔750和感测元件752。 

归因于覆盖物到基底通过接合物的密封地固定，这样的检测器组件无法以小的尺寸实现。此外，这样的接合不容易并且昂贵，并且特别不适合大量生产。 

US6262417B1公开了一种红外测辐射热计，其包括：具有基底和一对连接端子的有源基体层、带有一对桥接和一对传导线的支撑层、包括被吸收体围绕的测辐射热计元件的吸收层、和被定位在支撑层与吸收层之间的一对柱子。每一所述桥接具有：锚定部分、腿部分和升高部分，所述锚定部分被粘附到所述有源基体层并且所述升高部分与所述有源基体层分开，其中，每一桥接的升高部分包括悬挂在外侧部分上的内侧部分。每一柱子包括电导管，其中测辐射热计元件的每个末端通过相应的导管和相应的传导线电连接到相应的连接端子。 

Ju等人在红外技术及应用（Infrared Technology and Applications） XXV(1999)SPIE Vol.3698的“使用双牺牲层的高填充因子微型辐射热计的设计及制造（Design and fabrication of a high fill‑factor micro‑bolometer usingdouble sacrificial layers）”中也公开了一种类似设备。制造这一测辐射热计的特征在于其使用双牺牲层以便将吸收层与桥接结构、吸收体和基底之间的电通道及热通道分离开。 

由于测辐射热计元件位于上部膜，因而这样的测辐射热计可能遭受向周围空气中的高的热损失和/或可能易碎。 

本发明的目的是提供一种改善的，特别是具有低的热损失和/或鲁棒性的测辐射热计，以及相应的热记录图像传感器和医学设备。 

本发明的目的是提供一种改善的，特别是具有低的热损失和/或鲁棒性的测辐射热计，以及相应的热记录图像传感器和医学设备。 

在本发明的第一方面中，提出了一种测辐射热计，其包括：基底；通过去除基底上的第一牺牲层形成的第一膜，所述第一膜包括用于测量入射电磁辐射的量的测量元件；通过去除第一膜上的第二牺牲层形成的第二膜，所述第二膜包封所述第一膜；在基底和第一膜之间形成的第一腔；以及在第一膜和第二膜之间形成的第二腔。 

在本发明的又一方面中，提出了一种热记录图像传感器，其用于提供放射电磁辐射的对象的热记录图像，所述电磁辐射采用红外光的形式，所述热记录图像传感器包括多个这样的根据本发明的测辐射热计，所述测辐射热计在共同基底上布置成阵列。 

在本发明的又一方面中，提出了一种包括这样的根据本发明的热记录图像传感器的医学设备（例如，内窥镜或导管）。 

在本发明的又一方面中，提出了一种制造测辐射热计的方法，所述方法包括以下步骤：在基底上提供第一牺牲层；在所述第一牺牲层上提供第一膜，所述第一膜包括用于测量吸收的入射电磁辐射的量的测量元件；在所述第一膜上提供第二牺牲层；在所述第二牺牲层上提供第二膜，使得所述第二膜包封所述第一膜；去除所述第一牺牲层，使得在所述基底和所述第一膜之间形成第一腔；以及去除所述第二牺牲层，使得在所述第一膜和所述第二膜之间形成第二腔。