[实用新型]利用误差修正闭环回路消除齿隙误差的精密定位装置

权利要求书

1.一种利用误差修正闭环回路消除齿隙误差的精密定位装置，其特征在于：它包括速率回路、线性位置回路组件和非线性位置回路组件；其中，线性位置回路组件与速率回路连接，组成线性位置回路；非线性位置回路组件与线性位置回路连接，组成非线性位置回路。

2.根据权利要求1所述的一种利用误差修正闭环回路消除齿隙误差的精密定位装置，其特征在于：所述的速率回路包括数字测速机、速率校正器、数字模拟转换器、功率放大器和第一加法器；数字测速机与电机的转子和第一加法器的一个输入端连接；第一加法器输出端与速率校正器的输入端连接；速率校正器输出端与数字模拟转换器的输入端连接；数字模拟转换器的输出端与功率放大器的输入端连接；功率放大器的输出端与电机连接。

3.根据权利要求1所述的一种利用误差修正闭环回路消除齿隙误差的精密定位装置，其特征在于：所述的线性位置回路组件包括角度编码器、角度细分装置、位置校正器和第二加法器；角度编码器分别与电机和角度细分装置的输入端连接；角度细分装置的输出端与第二加法器的一个输入端连接；第二加法器的另一个输入端作为角位置指令信号输入端，第二加法器的输出端与位置校正器的输入端连接；位置校正器的输出端与第一加法器的另一个输入端连接。

4.根据权利要求1所述的一种利用误差修正闭环回路消除齿隙误差的精密定位装置，其特征在于：所述的非线性位置回路组件包括栅尺、光栅细分装置、开关和第三加法器；光栅尺分别与滚珠丝杠和光栅细分装置的输入端连接，光栅细分装置的输出端通过开关与第三加法器的一个输入端连接；第三加法器的另一个输入端作为线位置指令信号输入端，第三加法器的输出端与第二加法器的另一个输入端连接。

5.根据权利要求2所述的一种利用误差修正闭环回路消除齿隙误差的精密定位装置，其特征在于：所述的数字模拟转换器采用PCI6208GL、功率放大器和电机采用80CB050交流伺服控制器及电机。

6.根据权利要求3所述的一种利用误差修正闭环回路消除齿隙误差的精密定位装置，其特征在于：所述的角度编码器采用2500线码盘、角度细分装置采用最高100倍的细分电路。

7.根据权利要求4所述的一种利用误差修正闭环回路消除齿隙误差的精密定位装置，其特征在于：所述的光栅尺采用RES40、光栅细分装置采用1024倍细分卡。