[实用新型]一种自动化物料处理系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种自动化物料处理系统，可用于平面显示器制造领域中。

背景技术

自动化物料处理系统（AMHS，Automatic Material Handling System），又称天车系统。这种搬送系统的应用范围较广，例如机场的货物运输、自动化工厂的物料运输等；当AMHS应用于平面显示器制造领域时，由于平面显示器的制造依赖于不同的处理设备的多重工艺步骤，这需要利用自动化物料处理系统（AMHS）在处理设备之间传送产品。

现有的自动化物料处理系统（AMHS）参见附图1所示，主要包括自动化物料处理系统和多个程序加工区1（Process Bays）；其中，程序加工区内设有各种加工设备15；自动化物料处理系统包括加工区间自动输送轨道回路2和多个储存仓3（Stocker），所述储存仓之间的传递是藉由加工区间自动输送轨道回路内的悬挂式搬运系统16所完成。

现有的加工区间自动输送轨道回路一般近似矩形或圆角矩形，参见附图1所示，悬挂式搬运系统运转于加工区间自动输送轨道回路中；所述各个储存仓分别位于程序加工区的一侧，每个储存仓包含一些垂直堆叠的储存箱，用以承载平面卡匣。

图2为图1的A-A剖视图，由图可见，现有的加工区间自动输送轨道回路从上到下包括三层空间：架构空间4（TRUSS）、洁净空间5（FAB）和循环空间6（SUBFAB）；架构空间和洁净空间之间设有天花板7，天花板上设有风机滤器单元9（FFU，Fan Filter Units），现有的天花板上设有通气孔，以使FFU提供的过滤后的空气进入洁净空间；洁净空间和循环空间之间设有高架地板17，高架地板上设有透气孔，以便气体通过循环。

现有的自动化物料处理系统（AMHS）一般是整体设置于一大型洁净空间内（如大型生产车间内），以实现物料的运输及处理。然而，现有的自动化物料处理系统中的所使用的洁净空气和多个程序加工区所使用的洁净空气都是和厂房的大型洁净空间的洁净空气直接连通并混合，在实际应用中发现，由于程序加工区内设有很多加工设备，这些设备在生产过程中会产生各种废气或腐蚀性气体（如氯气、氯化氢等），一旦这些腐蚀性气体溢出后，这些气体会跑到外部的大型洁净空间内，从而直接和自动化物料处理系统中的产品接触，尤其是和储放于储存仓（Stocker）的产品直接接触，这便大大影响了产品的质量；而此种情况一旦发生后则很难去除。

另一方面，为了维持洁净空间内的洁净度和恒温，需要形成一定风量的空气循环，这就对循环空间（SUBFAB）以及设于其内的干盘管提出了要求，由于储存仓（Stocker）的循环风量必须与大型洁净空间的循环风量一起处理，循环风量较大，因此现有的循环空间的高度都比较高，建造成本较高。

又另一方面，考虑少数加工设备对微振动的需求，往往为了这些设备而全面整厂建造华夫板(Waffle Slab)，增加建厂时间及成本。

发明内容

本实用新型的发明目的是提供一种自动化物料处理系统。

为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：一种自动化物料处理系统，包括自动化物料处理系统和至少1个程序加工区，所述自动化物料处理系统包括加工区间自动输送轨道回路和至少1个储存仓；所述自动化物料处理系统从上到下包括架构空间、洁净空间和循环空间，架构空间和洁净空间之间设有天花板，洁净空间和循环空间之间设有高架地板；所述自动化物料处理系统的四周围设有隔板，使其所在的洁净空间和至少一部分架构空间构成独立的洁净微环境结构。

上文中，所述自动化物料处理系统包括加工区间自动输送轨道回路和至少1个储存仓，而储存仓与加工区设备之间还可以分别设有传递系统，该传递系统可以包含Robot、Cassette station、Load/Unload等。

所述加工区间自动输送轨道回路一般近似矩形或圆角矩形，悬挂式搬运系统运转于加工区间自动输送轨道回路中，所述悬挂式搬运系统可以是OHS。

所述自动化物料处理系统的四周围设有隔板，并补入新风形成一个相对于大型洁净空间为正压的洁净微环境，因而当加工设备中有腐蚀性气体溢出并跑到外部的大型洁净空间内之后，也不会进入自动化物料处理系统，从而避免了这些气体对产品质量的影响。

将所述自动化物料处理系统所在的洁净空间和至少一部分架构空间构成独立的洁净微环境结构，即隔板的底部只达到高架地板上，而未深入下方的循环空间；隔板的顶部部分深入架构空间之中。