[实用新型]基于光热成像的图像获取装置有效

专利信息
申请号: 201220499080.6 申请日: 2012-09-28
公开(公告)号: CN202948904U 公开(公告)日: 2013-05-22
发明(设计)人: 刘胜;戴宜全;甘志银;王小平 申请(专利权)人: 华中科技大学;武汉飞恩微电子有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;G01B11/22;G01B11/00;G01N21/88
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 朱仁玲
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 基于 光热 成像 图像 获取 装置
【权利要求书】:

1.一种基于光热成像的图像获取装置,其特征在于,包括支架横梁、平动电机、成像探头、光发射器; 

平动电机固定于横梁的下侧面,成像探头垂直固定于平动电机中的移动块;光发射器通过可调连接件连接至所述移动块,通过调节可调连接件使其发射的光经试样反射后进入成像探头; 

所述平动电机中的移动块用于拖动光发射器和成像探头在试样的正上方做径向运动; 

所述光发射器用于发射光至试样的上表面; 

所述成像探头用于对试样上表面的反射光进行成像。 

2.一种基于光热成像的图像获取装置,其特征在于,包括支架横梁、平动电机、成像探头、半透半反棱镜、光发射器; 

平动电机固定于横梁的下侧面,成像探头垂直固定于平动电机中的移动块;半透半反棱镜位于成像探头的前端;所述光发射器与所述半透半反棱镜位于同一平面; 

所述平动电机中的移动块用于拖动成像探头在试样的正上方做径向运动; 

所述光发射器用于给所述半透半反棱镜提供光源; 

所述半透半反棱镜用于使得经所述半透半反棱镜的光垂直入射至试样的上表面; 

所述成像探头用于对试样上表面的反射光进行成像。 

3.如权利要求1或2所述的图像获取装置,其特征在于,所述成像探头包括通过螺栓连接的成像传感器和成像镜头,所述成像传感器用于获取光图像或热图像。 

4.如权利要求1或2所述的图像获取装置,其特征在于,所述图像获 取装置还包括位于所述光发射器的前端,用于对所述光发射器发射的光进行滤波和校准的光学元件。 

5.如权利要求1或2所述的图像获取装置,其特征在于,所述光发射器为激光发射器或红外光发射器。 

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