[实用新型]一种惰性气体净化器

说明书

技术领域

本申请涉及惰性气体提纯技术领域，特别涉及一种惰性气体净化器。

背景技术

在工业生产中，在惰性气体净化方面，通常是利用低温的活性碳吸附惰性气体，然后用海绵钛、Zr-Al泵和Cu/CuO等抽除活性气体。这种方法步骤繁琐，装置体积大，存在共吸附的问题。而市场上出现的另外一种钛丝吸附法，虽然具有体积小，成本低等优点，但吸附量有限，只适合于微量活性气体的纯化。另外现在大部分惰性气体净化装置存在吸气效率低、不能持续提供纯净气体的缺点。

实用新型内容

本申请所要解决的技术问题是提供一种吸气效率高，能适应大量气体纯化的要求，同时能够不间断的提供纯净气体的惰性气体净化装置。

为解决上述技术问题，本申请提供了一种惰性气体净化装置，包括：进气管道、Cu-CuO复合塔、合金吸附塔、净化放散系统、第一分子筛、第二分子筛及循气出气系统。所述进气管道与所述Cu-CuO复合塔连接。所述Cu-CuO复合塔通过所述合金吸附塔与所述净化放散系统连接。所述净化放散系统分别与所述第一分子筛和所述第二分子筛连接。所述第一分子筛和所述第二分子筛分别与所述循气出气系统连接。

进一步地，所述净化放散系统包括：第一放散阀、第二放散阀、第一波纹管阀、第二波纹管阀及第一出气管道。所述合金吸附塔通过所述第一波纹管阀与所述第一分子筛连接。所述合金吸附塔通过所述第二波纹管阀与所述第二分子筛连接。所述第一分子筛通过所述第一放散阀与所述第一出气管道连接。所述第二分子筛通过所述第二放散阀与所述第一出气管道连接。

进一步地，所述循气出气系统包括第一单向截止阀、第二单向截止阀、节流阀及第二出气管道。所述第一分子筛依次通过所述第一单向截止阀、节流阀与所述第二出气管道连接。所述第二分子筛依次通过所述第二单向截止阀、节流阀与所述第二出气管道连接。

进一步地，所述循气出气系统还包括第三单向截止阀及第四单向截止阀。所述第一分子筛通过所述第三单向截止阀与所述第二出气管道连接。所述第二分子筛通过所述第四单向截止阀与所述第二出气管道连接。

进一步地，还包括PLC。所述PLC分别与所述Cu-CuO复合塔、合金吸附塔、第一放散阀、第二放散阀、第一波纹管阀及所述第二波纹管阀连接。

进一步地，还包括压力表。所述第一分子筛和所述第二分子筛上分别设置有所述压力表。

本申请提供的惰性气体净化器，吸气效率高，能适应大量气体纯化的要求，同时能够不间断的提供纯净气体。

附图说明

图1为本申请实施例提供的惰性气体净化装置结构示意图。

具体实施方式

参见图1，本申请实施例提供的一种惰性气体净化装置，包括Cu-CuO复合塔2、合金吸附塔3、净化放散系统（包括第一放散阀4、第二放散阀16、第一波纹管阀6、第二波纹管阀7及第一出气管道15）、第一分子筛5、第二分子筛17、循气出气系统（包括第一单向截止阀10、第二单向截止阀12、第三单向截止阀13、第四单向截止阀14、节流阀11及第二出气管道18）、进气管道1、PLC及压力表。Cu-CuO复合塔2通过管道与合金吸附塔3连接。合金吸附塔3通过第一波纹管阀6与第一分子筛5连接（利用管道连接）。合金吸附塔3通过第二波纹管阀7与第二分子筛17连接（利用管道连接）。第一分子筛5通过第一放散阀4与第一出气管道15连接（利用管道连接）。第二分子筛17通过第二放散阀16与第一出气管道15连接（利用管道连接）。第一分子筛5依次通过第一单向截止阀10、节流阀11与第二出气管道18连接（利用管道连接）。第二分子筛17依次通过第二单向截止阀12、节流阀11与第二出气管道18连接（利用管道连接）。第一分子筛5通过第三单向截止阀13与第二出气管道18连接（利用管道连接）。第二分子筛17通过第四单向截止阀14与第二出气管道18连接（利用管道连接）。进气管道1与所述Cu-CuO复合塔2连接（利用管道连接）。PLC分别与Cu-CuO复合塔2、合金吸附塔3、第一放散阀4、第二放散阀16、第一波纹管阀6及第二波纹管阀7连接（利用导线连接）。第一分子筛5和第二分子筛17上分别设置有所述压力表，用于显示分子筛内的压力值。在实际应用中，金属波纹管阀门上下端与通气管道焊为一体，在传输介质和大气之间形成一个金属屏障，确保气体无泄漏。采用波纹管设计将阀杆传统的柱面转动密封改为平面静密封，使阀杆转动时的气密性更可靠。