[实用新型]一种用于单晶生长的石英防爆容器有效
申请号: | 201220493905.3 | 申请日: | 2012-09-25 |
公开(公告)号: | CN202849591U | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 赵北君;朱世富;樊龙;杨辉;何知宇;陈宝军 | 申请(专利权)人: | 四川大学 |
主分类号: | C30B25/00 | 分类号: | C30B25/00 |
代理公司: | 成都科海专利事务有限责任公司 51202 | 代理人: | 黄幼陵;马新民 |
地址: | 610065 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 生长 石英 防爆 容器 | ||
1.一种用于单晶生长的石英防爆容器,其特征在于所述石英防爆容器由内层坩埚和外层坩埚组合而成,
内层坩埚为内壁镀有碳膜的石英管,其初始状态由单晶生长段(1)和分别位于单晶生长段两端的进料段(2)、籽晶淘汰段(3)组成,进料段(2)的端部为进料口,单晶生长段(1)的外壁设置有定位突起(8),籽晶淘汰段(3)的端部封闭且连接有导热杆(4),外层坩埚的初始状态为一端开口、一端封闭的石英管,所述石英管分为主体部段(5)和籽晶袋与导热杆放置段(7),主体部段的端部为开口端,籽晶袋与导热杆放置段(7)端部为封闭端,主体部段(5)的内径大于内层坩埚单晶生长段的外径、长度大于内层坩埚单晶生长段的长度,籽晶袋与导热杆放置段(7)的内径小于主体部段的内径,其长度等于或大于内层坩埚籽晶淘汰段(3)的长度与所述导热杆(4)长度之和,
内层坩埚的工作状态由单晶生长段(1)和籽晶淘汰段(3)组成,单晶生长段(1)和籽晶淘汰段(3)的端部均封闭,且籽晶淘汰段(3)的端部连接有导热杆(4),外层坩埚的工作状态为两端封闭的石英管,其主体部段(5)的端部设置有吊环(9),内层坩埚装于外层坩埚内,内层坩埚的单晶生长段(1)位于外层坩埚的主体部段(5),内层坩埚的籽晶淘汰段(3)及与籽晶淘汰段端部连接的导热杆(4)位于外层坩埚的籽晶袋与导热杆放置段(7),内层坩埚的外壁与外层坩埚的内壁围成环形腔室(10)。
2.根据权利要求1所述用于单晶生长的石英防爆容器,其特征在于所述环形腔室(10)的厚度为2mm~6mm。
3.根据权利要求1或2所述用于单晶生长的石英防爆容器,其特征在于所述籽晶淘汰段(3)的长度为30mm~50mm。
4.根据权利要求1或2所述用于单晶生长的石英防爆容器,其特征在于所述导热杆的长度为30mm~60mm。
5.根据权利要求3所述用于单晶生长的石英防爆容器,其特征在于所述导热杆的长度为30mm~60mm。
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