[实用新型]一种反向诱导凝固提纯多晶硅的设备

权利要求书

1.一种反向诱导凝固提纯多晶硅的设备，由炉盖（1）、炉体（4）以及支撑基座（11）组成外部结构，其特征是：水冷旋转杆（13）穿过炉体（4）底部与水冷托盘（12）固定连接，散热板（10）固定安装于水冷托盘（12）之上，凝固保温装置放置于散热板（10）之上，保温套筒（7）套于凝固保温装置外围，保温套筒（7）通过固定支架（9）固定安装于炉体（4）内壁，感应线圈（8）套于保温套筒（7）之外，落粉装置（2）通过支撑架（3）固定于炉体（4）内部，且位于凝固保温装置正上方，机械泵（14）和罗茨泵（15）放置于炉体（4）之外，通过真空管道（16）连接，真空管道（16）一端通向炉体（4）内部。

2.根据权利要求1所述的一种反向诱导凝固提纯多晶硅的设备，其特征是：所述水冷旋转杆（13）为圆柱状，内置冷却水管道。

3.根据权利要求1所述的一种反向诱导凝固提纯多晶硅的设备，其特征是：所述水冷托盘（12）为圆盘状，内置冷却水管道。

4.根据权利要求1所述的一种反向诱导凝固提纯多晶硅的设备，其特征是：所述散热板（10）为圆盘状铜散热板。

5.根据权利要求1所述的一种反向诱导凝固提纯多晶硅的设备，其特征是：所述凝固保温装置至少由石英坩埚（5）和石墨坩埚（6）组成，采用石墨坩埚（6）放置于散热板（10）之上，石英坩埚（5）嵌于石墨坩埚（6）之内。

6.根据权利要求1所述的一种反向诱导凝固提纯多晶硅的设备，其特征是：所述保温套筒（7）为两端无盖的圆筒状碳纤维保温套筒。