[实用新型]附着有有机物薄膜的玻璃基板

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种附着有有机物薄膜的玻璃基板。

背景技术

如专利文献1（日本特开2001-276759号公报）所示，在以往用于液晶显示器或等离子显示器等显示图像用机器的玻璃基板的制造工艺中，玻璃基板成形后，为了去除附着在玻璃基板表面上的玻璃的微小粉末或磨料颗粒等异物，用酸性药液或超声波等对玻璃基板表面进行清洗处理。

专利文献:

专利文献1：日本特开2001-276759号公报

实用新型内容

但是，即使完成玻璃基板表面的清洗处理后的玻璃基板的表面为清洁度高的状态，之后在搬运或保管玻璃基板时，异物或污垢会附着在玻璃基板的表面。其结果，在利用玻璃基板制造各种机器的阶段，需要再次用药液或超声波清洗玻璃基板的表面。

本实用新型的目的在于，提供一种即使异物或污垢附着在表面，也可容易地将其去除的附着有有机物薄膜的玻璃基板。

本实用新型涉及的附着有有机物薄膜的玻璃基板为其表面附着有邻苯二甲酸酯的玻璃基板。该附着有有机物薄膜的玻璃基板的表面上，邻苯二甲酸酯的平均附着量为0.5ng～15ng/1cm²，且表面的任意1cm²至少附着有0.1ng的邻苯二甲酸酯。

本实用新型涉及的附着有有机物薄膜的玻璃基板中，邻苯二甲酸酯的分子量最佳为低于450。

本实用新型涉及的附着有有机物薄膜的玻璃基板中，邻苯二甲酸酯最佳为邻苯二甲酸二（2-乙基己酯）。

本实用新型涉及的附着有有机物薄膜的玻璃基板中，表面的粗糙度Ra值最佳为小于等于0.4nm。清洗玻璃基板时，玻璃基板表面的粗糙度越小，越容易从玻璃基板的表面去除邻苯二甲酸酯。

本实用新型涉及的附着有有机物薄膜的玻璃基板，最佳为形成有Cu系电极材料的显示装置用基板，该玻璃基板具有大于G5尺寸的表面面积，且厚度小于0.4mm。

本实用新型涉及的附着有有机物薄膜的玻璃基板，即使异物或污垢附着在其表面，也可容易地将其去除。依据本实用新型，有机EL用TFT显示器或面向高清晰液晶TFT显示器中，能够降低因玻璃粉或碎玻璃引起的表面损伤或异物附着在玻璃基板表面。

因此，也可使用粘性低的配线/电极材料。例如，可使用与Al系电极或Cr、Mo电极等相比粘性低，但低电阻的Cu系电极材料。即，可扩大电极材料的选择范围，可解决大型显示器中容易出现的RC迟延问题。而且，能够提供可解决今后进一步高清晰的小型显示器中可能出现的RC迟延问题的玻璃基板。

附图说明

图1为涉及本实施例的玻璃板制造装置的整体结构图；

图2为涉及本实施例的被膜形成装置的侧视图；

图3为涉及本实施例的被膜形成装置的侧视图；

图4为表示涉及实施例的样品基板的样片位置概念图；

图5为涉及变形例C的玻璃基板被膜形成装置的示意图。

符号说明

10            被膜形成装置

12            玻璃基板搬运装置

14            玻璃基板被膜形成装置

14a           被膜形成空间

14a1          搬入口

14a2          搬出口

14b1          第1空气刀

14b2          第2空气刀

14c            有机物喷嘴

100            玻璃板制造装置

200            熔解槽

300            澄清槽

400            成形装置

500            清洗槽

GS            玻璃基板

具体实施方式

＜实施例＞

（1）玻璃基板制造装置的整体结构