[实用新型]一种双向平动机构及区熔单晶炉有效
申请号: | 201220471427.6 | 申请日: | 2012-09-14 |
公开(公告)号: | CN202808993U | 公开(公告)日: | 2013-03-20 |
发明(设计)人: | 袁静;张继宏;徐振斌 | 申请(专利权)人: | 北京京运通科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B13/26 | 分类号: | C30B13/26;C30B13/00 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双向 平动 机构 区熔单晶炉 | ||
1.一种用于区熔单晶炉的双向平动机构,其特征在于,包括:
平动下板,固定于所述区熔单晶炉的上炉室;
平动中板,与所述平动下板滑动装配;
平动上板,与所述区熔单晶炉的上传动固定连接,且与所述平动中板滑动装配;
驱动所述平动中板滑动的第一驱动装置,与所述平动下板相对固定;
驱动所述平动上板滑动的第二驱动装置,与所述平动中板相对固定;
所述平动中板相对所述平动下板的滑动方向与所述平动上板相对所述平动中板的滑动方向相互交叉;
所述平动上板、所述平动中板和所述平动下板均具有贯穿其厚度方向的通孔。
2.根据权利要求1所述的双向平动机构,其特征在于,所述平动中板相对所述平动下板的滑动方向与所述平动上板相对所述平动中板的滑动方向相互垂直。
3.根据权利要求1所述的双向平动机构,其特征在于,所述平动中板与所述平动下板之间通过至少一对相互配合的滑槽和轨道滑动装配。
4.根据权利要求1所述的双向平动机构,其特征在于,所述平动上板与所述平动中板之间通过至少一对相互配合的滑槽和轨道滑动装配。
5.根据权利要求3所述的双向平动机构,其特征在于,所述平动中板、所述平动下板之间的滑槽和轨道为两对。
6.根据权利要求4所述的双向平动机构,其特征在于,所述平动上板、所述平动中板之间的滑槽和轨道为两对。
7.根据权利要求1所述的双向平动机构,其特征在于,所述驱动装置为电机,所述电机的输出端通过减速器和滚珠丝杠副驱动所述平动上板和所述平动中板运动。
8.根据权利要求1~7任一项所述的双向平动机构,其特征在于,所述平动上板具有通孔的内表面与上传动的上轴外表面相互贴合。
9.一种区熔单晶炉,包括上炉室和上传动,其特征在于,还包括如权利要求1~8任一项所述的双向平动机构。
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