[实用新型]一种包含新型放电腔的激光光源系统

权利要求书

1.一种包含放电腔的激光光源系统，其特征在于，所述激光光源系统由放电腔、聚光模块和线宽压窄模块组成，其中， 

所述放电腔由内、外两圈组成； 

所述外圈安装有多个高压电源及电极，每个高压电源对应一个所述外圈上安装的电极； 

所述内圈由电机带着旋转，并且所述内圈上安装有多个电极； 

所述内圈上安装的电极与所述外圈上安装的电极形成阴阳电极。 

2.如权利要求1所述的激光光源系统，其特征还在于，所述高压电源的脉冲放电频率与所述内圈的旋转转速相匹配。 

3.如权利要求2所述的激光光源系统，其特征还在于，所述高压电源每次脉冲放电都在所述外圈上安装的电极与所述内圈上安装的电极正对着时发生。 

4.如权利要求1所述的激光光源系统，其特征还在于，激光在阴阳电极之间、即放电腔内外圈之间的工作气体中产生，出光位置位于放电腔内圈的外侧。 

5.如权利要求1所述的激光光源系统，其特征还在于，所述内圈接地，其上电极为阳极；外圈上的电极为阴极；所述高压电源提供负高压，加载在所述阴极上。 

6.如权利要求5所述的激光光源系统，其特征还在于，阴极端可布置预电离电极，改善阴阳电极的放电性能。 

7.如权利要求1所述的激光光源系统，其特征还在于，所述内圈由两个电机带动，所述两个电机分别位于所述放电腔的两端部。 

8.如权利要求1所述的激光光源系统，其特征还在于，所述内圈由单电机带动，所述单电机位于所述放电腔的任意一端。 

9.如权利要求1所述的激光光源系统，其特征还在于，所述外圈的形状为圆形、椭圆形、矩形。 

10.如权利要求1所述的激光光源系统，其特征还在于，所述内圈的形状为圆形。 

11.如权利要求1所述的激光光源系统，其特征还在于，所述聚光模块由两个反射镜组组成，放电腔的每个出光口都由两个反射镜产生两次反射，使激光汇聚于所述内圈的旋转轴上。 

12.如权利要求1所述的激光光源系统，其特征还在于，所述线宽压窄模块由棱镜组和光栅组成。 

13.如权利要求1所述的激光光源系统，其特征还在于，在所述内、外圈之间布置有热交换器，用以耗散腔内的高热量，维持腔体及其内部放电气体的工作温度。 

14.如权利要求1所述的激光光源系统，其特征还在于，腔体内部密封有工作气体。