[实用新型]定量蒸发装置有效
申请号: | 201220457286.2 | 申请日: | 2012-09-07 |
公开(公告)号: | CN202925094U | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 刘马林;邵友林;刘兵;朱钧国;张秉忠 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | C23C16/448 | 分类号: | C23C16/448;C23C16/455;C23C16/52;G21C21/02;G21C21/14 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 韩国胜 |
地址: | 100084 北京市海淀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 定量 蒸发 装置 | ||
1.一种定量蒸发装置,其特征在于,包括液体罐、气源、液体流量控制器、电热球和气体流量计;
所述气源用来提供夹带气;
所述液体罐内装有待蒸发的液体,液体罐下连有液体流量控制器;
所述液体流量控制器通过管路与电热球连接;
所述电热球还与气体流量计相连,电热球用于加热流入其中的液体并使液体完全汽化;
所述气体流量计位于气源和电热球之间,用来控制夹带气的流量。
2.如权利要求1所述的定量蒸发装置,其特征在于,所述定量蒸发装置设有用来调节液体罐中液体上方压强的辅助管路,所述辅助管路一端与液体罐的上方连通,其另一端与气源连通,辅助管路上设有方向阀和手阀。
3.如权利要求2所述的定量蒸发装置,其特征在于,所述液体罐上设有温度计和压力表,所述温度计用来测量液体罐内的温度,所述压力表用来测量液体罐中液体上方的压强。
4.如权利要求1-3任一项所述的定量蒸发装置,其特征在于,所述连接电热球与液体流量控制器的管路为回形管。
5.如权利要求4所述的定量蒸发装置,其特征在于,所述电热球上有三个接口,两个进口和一个混合气出口,其中两个进口分别为液体进口和夹带气进口,所述混合气出口和夹带气进口位于通过电热球中心的同一水平线上,而液体进口设置在垂直于该水平线的方向上。
6.如权利要求5所述的定量蒸发装置,其特征在于,所述定量蒸发装置设有冲洗管路,所述冲洗管路一端与液体流量控制器的下部连通,其另一端与气体流量计连接,冲洗管路上设有阀门,用来控制清洗管路的开启或关闭。
7.如权利要求1-3、5-6任一项所述的定量蒸发装置,其特征在于,还包括液位计,所述液体计与液位罐连通,所述液位计用于显示液体罐中的液位高度。
8.如权利要求7所述的定量蒸发装置,其特征在于,所述液体罐外有玻璃罩,玻璃罩用于密封液体罐防止液体罐与外界接触。
9.如权利要求8所述的定量蒸发装置,其特征在于,所述电热球外形为球状、圆柱状或长方体状。
10.如权利要求1-3、5-6、8-9任一项所述的定量蒸发装置,其特征在于,所述液体罐的上部为圆柱形或方柱形,下部锥形过渡,液体罐的底部有排液阀用来排出其中的液体。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的