[实用新型]定量蒸发装置有效

专利信息
申请号: 201220457286.2 申请日: 2012-09-07
公开(公告)号: CN202925094U 公开(公告)日: 2013-05-08
发明(设计)人: 刘马林;邵友林;刘兵;朱钧国;张秉忠 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: C23C16/448 分类号: C23C16/448;C23C16/455;C23C16/52;G21C21/02;G21C21/14
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 韩国胜
地址: 100084 北京市海淀*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 定量 蒸发 装置
【权利要求书】:

1.一种定量蒸发装置,其特征在于,包括液体罐、气源、液体流量控制器、电热球和气体流量计;

所述气源用来提供夹带气;

所述液体罐内装有待蒸发的液体,液体罐下连有液体流量控制器;

所述液体流量控制器通过管路与电热球连接;

所述电热球还与气体流量计相连,电热球用于加热流入其中的液体并使液体完全汽化;

所述气体流量计位于气源和电热球之间,用来控制夹带气的流量。

2.如权利要求1所述的定量蒸发装置,其特征在于,所述定量蒸发装置设有用来调节液体罐中液体上方压强的辅助管路,所述辅助管路一端与液体罐的上方连通,其另一端与气源连通,辅助管路上设有方向阀和手阀。

3.如权利要求2所述的定量蒸发装置,其特征在于,所述液体罐上设有温度计和压力表,所述温度计用来测量液体罐内的温度,所述压力表用来测量液体罐中液体上方的压强。

4.如权利要求1-3任一项所述的定量蒸发装置,其特征在于,所述连接电热球与液体流量控制器的管路为回形管。

5.如权利要求4所述的定量蒸发装置,其特征在于,所述电热球上有三个接口,两个进口和一个混合气出口,其中两个进口分别为液体进口和夹带气进口,所述混合气出口和夹带气进口位于通过电热球中心的同一水平线上,而液体进口设置在垂直于该水平线的方向上。

6.如权利要求5所述的定量蒸发装置,其特征在于,所述定量蒸发装置设有冲洗管路,所述冲洗管路一端与液体流量控制器的下部连通,其另一端与气体流量计连接,冲洗管路上设有阀门,用来控制清洗管路的开启或关闭。

7.如权利要求1-3、5-6任一项所述的定量蒸发装置,其特征在于,还包括液位计,所述液体计与液位罐连通,所述液位计用于显示液体罐中的液位高度。

8.如权利要求7所述的定量蒸发装置,其特征在于,所述液体罐外有玻璃罩,玻璃罩用于密封液体罐防止液体罐与外界接触。

9.如权利要求8所述的定量蒸发装置,其特征在于,所述电热球外形为球状、圆柱状或长方体状。

10.如权利要求1-3、5-6、8-9任一项所述的定量蒸发装置,其特征在于,所述液体罐的上部为圆柱形或方柱形,下部锥形过渡,液体罐的底部有排液阀用来排出其中的液体。

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