[实用新型]一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的平面线圈驱动式微阀

权利要求书

1.一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的平面线圈驱动式微阀，其特征是包括下阀体（1）、依次压叠在下阀体（1）上的基片（3）、上阀体（4）和平面螺旋线圈（6）；

所述下阀体的底部沿径向方向分别设有进液流道（2）和出液流道（11），下阀体的上部设有液体腔（13），所述进液流道（2）在位于下阀体中心处设有垂直向上的与液体腔（13）连通的流道口（8），所述流道口（8）凸伸于所述液体腔的底面；所述出液流道（11）与所述液体腔连通；

所述基片（3）上表面镀有具有逆磁致伸缩效应薄膜（7），下表面镀有具有正磁致伸缩效应薄膜（9），所述基片（3），与下阀体液体腔（13）构成封闭空间并与所述流道口形成启闭，与上阀体（4）形成空气腔（10）；

所述平面螺旋线圈（6）紧贴在上阀体（4）的上表面为超磁致伸缩薄膜提供驱动磁场，平面螺旋线圈（6）上涂有绝缘保护层（5）。

2.根据权利要求1所述的一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的平面线圈驱动式微阀，其特征是，所述微阀为圆柱体，所述逆磁致伸缩效应薄膜（7）和正磁致伸缩效应薄膜（9）在基片上呈圆环形分布。

3.根据权利要求1所述的一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的平面线圈驱动式微阀，其特征在于：所述正磁致伸缩效应薄膜（9）由TbDyFe合金制成，所述逆磁致伸缩效应薄膜（7）由SmFe合金制成。

4.根据权利要求1所述的一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的平面线圈驱动式微阀，其特征在于：所述基片（3）由具有高张力材质的硅薄片制成。

5.根据权利要求1所述的一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的平面线圈驱动式微阀，其特征在于：所述平面螺旋线圈（6）采用光刻和腐蚀工艺制作。