[实用新型]一种探针框架装置有效
| 申请号： | 201220446351.1 | 申请日： | 2012-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN202837350U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 邓朝阳;林子锦;裴晓光;赵海生 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 王黎延;任媛 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 探针 框架 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种探针框架装置，其特征在于，所述探针框架装置包括：探针支架和可沿所述探针支架各边移动的至少一个探针模块。
2.根据权利要求1所述的探针框架装置，其特征在于，所述探针框架装置还包括驱动探针模块沿探针支架各边发生移动的驱动模块。
3.根据权利要求2所述的探针框架装置，其特征在于，所述驱动模块通过伺服驱动的方式实现。
4.根据权利要求1-3任一所述的探针框架装置，其特征在于，所述探针框架装置还包括在探针模块移动到预设位置后，将所述探针模块固定在探针支架上的固定模块。
5.根据权利要求4所述的探针框架装置，其特征在于，所述固定模块为定位螺丝。
6.根据权利要求1-3任一所述的探针框架装置，其特征在于，所述探针框架装置还包括用于将各探针模块连接至信号源的引线。
7.根据权利要求4所述的探针框架装置，其特征在于，所述探针框架装置还包括用于将各探针模块连接至信号源的引线。
8.根据权利要求1-3任一所述的探针框架装置，其特征在于，所述探针支架内环和/或外环为凹槽结构。
9.根据权利要求4所述的探针框架装置，其特征在于，所述探针支架内环和/或外环为凹槽结构。
10.根据权利要求6所述的探针框架装置，其特征在于，所述探针支架内环和/或外环为凹槽结构。
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