[实用新型]大型精密转台气浮组件有效
| 申请号: | 201220444518.0 | 申请日: | 2012-09-03 |
| 公开(公告)号: | CN203098574U | 公开(公告)日: | 2013-07-31 |
| 发明(设计)人: | 黎启胜;张瑞杰;张映梅;卢永刚;王云;刘伟;贾晓英 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院总体工程研究所 |
| 主分类号: | F16C32/06 | 分类号: | F16C32/06 |
| 代理公司: | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 11282 | 代理人: | 李奎书 |
| 地址: | 621000*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 大型 精密 转台 组件 | ||
一种大型精密转台气浮组件,其特征在于:包括气浮支架及套装于该气浮支架上的气浮轴套,所述气浮支架包括立筒及设置于立筒底部的承座;所述气浮轴套包括底座及设置于底座上的轴筒;所述轴筒套装于所述立筒外,所述底座置于所述承座上;所述承座的顶面和所述立筒的筒壁上设置有内外相通的出气孔,所述承座上设置有内外相通的进气孔,所述出气孔和所述进气孔相通。
根据权利要求1所述的大型精密转台气浮组件,其特征在于:所述出气孔为多个,均匀分布于所述承座的顶面和所述立筒的筒壁上,所述进气孔为多个且分布于所述承座的侧面。
根据权利要求2所述的大型精密转台气浮组件,其特征在于:所有的所述出气孔和所述进气孔均相通。
根据权利要求2所述的大型精密转台气浮组件,其特征在于:每一个所述进气孔与多个所述出气孔为一个气流通道,同一个气流通道内的进气孔和出气孔相通。
根据权利要求1所述的大型精密转台气浮组件,其特征在于:所述气浮组件还包括光栅连接环、圆环光栅、读数支架和读数头,所述光栅连接环安装于所述轴筒的上端,所述圆环光栅安装于所述光栅连接环的上端,所述光栅连接环上和所述圆环光栅上均匀设置有多个上下方向且相互对应的光孔;所述读数支架安装于所述立筒的上端,所述读数头安装于所述读数支架上,所述读数头的位置与所述圆环光栅上的光孔的位置相对应。
根据权利要求5所述的大型精密转台气浮组件,其特征在于:所述读数头为有源光传感器。
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