[实用新型]微机电设备和电子系统

权利要求书

1.一种微机电设备，其特征在于，包括：

支撑结构(12；112；212)；

第一感测质量体(13a；113a；213a)和第二感测质量体(13b；113b；213b)，均根据第一轴(X；X，Y)并且各自根据与所述第一轴(X；X，Y)垂直的相应第二轴(Y；Ra，Rb；Y，X，Ra，Rb，Rc，Rd)相对于所述支撑结构(12；112；212)可移动；

驱动设备(3)，配置成将所述第一感测质量体(13a；113a；213a)和所述第二感测质量体(13b；113b；213b)维持于相位相反的沿着所述第一轴(X；X，Y)的振荡；

第一感测组和第二感测组(18；118；218，220)，配置成供应感测信号(S(Ca1)-S(Cb2)；S(Ca1)-S(Cd4))，所述感测信号(S(Ca1)-S(Cb2)；S(Ca1)-S(Cd4))指示所述第一感测质量体(13a；113a；213a)和所述第二感测质量体(13b；113b；213b)分别根据所述相应第二轴(Y；Ra，Rb；Y，X，Z，Ra，Rb，Rc，Rd)的移位；

处理部件(7，8)，配置成在第一感测模式中和在第二感测模式中组合所述感测信号(SCa1-SCb2；SCa1-SCd4)以便：

在所述第一感测模式中，放大所述第一感测质量体(13a；113a；213a)和所述第二感测质量体(13b；113b；213b)的协调移位对所述感测信号(S(Ca1)-S(Cb2)；S(Ca1)-S(Cd4))的影响并且衰减所述第一感测质量体(13a；113a；213a)和所述第二感测质量体(13b；113b；213b)的不协调移位的影响；并且

在所述第二感测模式中，放大所述第一感测质量体(13a；113a；213a)和所述第二感测质量体(13b；113b；213b)的不协调移位对所述感测信号(S(Ca1)-S(Cb2)；S(Ca1)-S(Cd4))的影响并且衰减所述第一感测质量体(13a；113a；213a)和所述第二感测质量体(13b；113b；213b)的协调移位的影响。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述处理部件(7，8)被配置成组合所述感测信号(SCa1-SCb2；SCa1-SCd4)以便：

在所述第一感测模式中，增添所述支撑结构(12；112；212)沿着与所述第一轴(X；X，Y)垂直的感测轴(Y；Z；Y，X，Z)的加速所引起的所述第一感测质量体(13a；113a；213a)和所述第二感测质量体(13b；113b；213b)的移位对所述感测信号(S(Ca1)-S(Cb2)；S(Ca1)-S(Cd4))的影响，并且衰减所述支撑结构(12；112；212)绕着与所述第一轴(X；X，Y)垂直的第三轴(Z；Y；Z，X，Y)的旋转所引起的所述第一感测质量体(13a；113a；213a)和所述第二感测质量体(13b；113b；213b)的移位与沿所述第一轴(X；X，Y)的所述振荡的组合对所述感测信号(S(Ca1)-S(Cb2)；S(Ca1)-S(Cd4))的影响；并且

在所述第二感测模式中，增添所述支撑结构(12；112；212)绕着所述第三轴(Z；Y；Z，X，Y)的旋转所引起的所述第一感测质量体(13a；113a；213a)和所述第二感测质量体(13b；113b；213b)的移位与沿所述第一轴(X；X，Y)的所述振荡的组合对所述感测信号(S(Ca1)-S(Cb2)；S(Ca1)-S(Cd4))的影响，并且衰减所述支撑结构(12；112；212)根据所述感测轴(Y；Z；Y，X，Z)的加速所引起的所述第一感测质量体(13a；113a；213a)和所述第二感测质量体(13b；113b；213b)的移位对所述感测信号(S(Ca1)-S(Cb2)；S(Ca1)-S(Cd4))的影响。

3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第一感测组和所述第二感测组(18；118；218，220)为电容型，并且配置成响应于所述第一感测质量体(13a；113a；213a)和所述第二感测质量体(13b；113b；213b)的协调移位呈现协调电容变化而响应于所述第一感测质量体(13a；113a；213a)和所述第二感测质量体(13b；113b；213b)的不协调移位呈现不协调电容变化。

4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述第一感测组和所述第二感测组(18；118；218，220)为差分型。