[实用新型]探针台的热对流式降温附加装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体集成电路制造设备，特别是涉及一种探针台的热对流式降温附加装置。 

背景技术

未装配风冷模组或冷冻机台的探针台一般从高温(85℃左右)降温至室温需要耗时120分钟左右(具体时间视机台型号和环境温度而略有区别)。而安装风冷模组或冷冻机台会涉及一定的成本，故普通配置的探针台的高温切换到常温时，都需要通过静置方式缓慢降温，时间成本被大量浪费。 

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种探针台的热对流式降温附加装置，能加速探针台从高温降温至室温。 

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种探针台的热对流式降温附加装置，所述热对流式降温附加装置设置在所述探针台的连接器上方，包括一外转子轴流风机及一导风罩，所述导风罩连接在所述外转子轴流风机的下方，两者密封连接。 

进一步的，所述导风罩与所述外转子轴流风机连接为螺纹连接。 

进一步的，所述外转子轴流风机采用探针台电源供电。 

进一步的，所述导风罩底部含橡胶密封圈。 

进一步的，所述导风罩顶部直径尺寸与所述外转子轴流风机的底部直径尺寸相同。 

进一步的，所述导风罩顶部直径尺寸比所述导风罩底部直径尺寸小。 

进一步的，所述导风罩顶部直径尺寸比所述导风罩底部直径尺寸大。 

进一步的，所述导风罩顶部直径尺寸与所述导风罩底部直径尺寸相同。 

进一步的，所述导风罩顶部直径尺寸为300mm。 

通过安装本实用新型探针台的热对流式降温附加装置，在探针台腔体中形成一定高度的气流层水平运动，从而促进了整体空气循环，加速热对流的作用下，腔体内高温空气从探针台前后开口流出，起到了加速探针台降温的作用。 

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明： 

图1是本实用新型探针台的热对流式降温附加装置使用状态示意图； 

图2是本实用新型探针台的热对流式降温附加装置第一实施例结构示意图； 

图3是本实用新型探针台的热对流式降温附加装置第二实施例结构示意图； 

图4是本实用新型探针台的热对流式降温附加装置第三实施例结构示意图。 

主要元件符号说明如下： 

探针台11                    连接器12 

导风罩13                    外转子轴流风机14 

导风罩21                    外转子轴流风机22 

导风罩31                    外转子轴流风机32 

导风罩41                    外转子轴流风机42 

具体实施方式

为使贵审查员对本实用新型的目的、特征及功效能够有更进一步的了解与认识，以下配合附图详述如后。 

如图1所示，本实用新型热对流式降温附加装置，包括外转子轴流风机14及导风罩13，所述导风罩13位于外转子轴流风机14的下方，所述导风罩13与所述外转子轴流风机14通过螺纹连接，两者密封连接；所述热对流式降温附加装置设置在连接器(FrogUnit)12的上方，覆盖连接器12，即导风罩13的下底面直径尺寸比连接器12的直径尺寸大；所述连接器12位于探针台11的上顶面，本实用新型热对流式降温附加装置通过连接器12推射大量常温气流进入探针台11内，在探针台11腔体中形成一定高度的气流层水平运动，从而促进了整体空气循环，加速热对流的作用下，对其进行降温；所述导风罩13的底部可以设置一橡胶密封圈(图中未标出)；用于紧密贴合探针台11的上表面，提高气密性。本实用新型的热对流式降温附加装置采用探针台电源供电并且当探针台不需要降温时，可以随时移走所述热对流式降温附件设备，极大提高了设备的便携性。 

如图2所示，为本实用新型热对流式降温附加装置第一实施例结构示意图，包括外转子轴流风机22及导风罩21，其中导风罩21的上顶面直径尺寸与外转子轴流风机22的直径尺寸相同，导风罩21的下底面直径尺寸比导风罩21的上顶面直径尺寸大， 使得导风罩21的形状为圆台型。例如：外转子轴流风机22的直径尺寸可以为300mm，而导风罩21的下底面直径尺寸可以为320mm。