[实用新型]加热炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片及半导体设备制造领域，尤其涉及太阳能和半导体制造设备中的加热炉。

背景技术

在太阳能电池片和半导体材料制造过程中，现有的加热炉由缠绕炉丝、热偶、绝缘子、保温棉、不锈钢卷板、把口环组成，外壳不锈钢卷板使用铆钉连接。为达到所需温度及隔热要求，炉体的直径通常较大，且组装工人的技术对炉体性能有较大影响。加热炉一般由直径为Φ6--Φ8mm炉丝缠绕而成通过使用不同尺寸绝缘子和不同引线位置进行温区划分，热偶从炉体径向穿过保温棉测量每个温区的温度，实际使用中控温精度一般只能达到±1℃。炉体一旦缠绕组装完成后结构基本不可更改，维修或更改炉体较繁琐。

发明内容

为了解决以上技术问题，本实用新型提供了一种结构简单、体积小、控温精度高、热量损失小、炉体升温快的加热炉。

本实用新型所述的加热炉包括两个瓷夹板以及与设置在两个瓷夹板之间的若干支撑磁杆，若干支撑磁杆沿瓷夹板周向分布，主控炉丝缠绕在支撑磁杆的整个长度方向，副控炉丝缠绕在支撑磁杆的两端，炉壳套在支撑磁杆的外部，热偶从瓷夹板上穿过。

本实用新型所述的加热炉具有以下优点：

1、结构简单、炉体组成部件均可拆卸，因此组装时人为影响小，并且使用过程中若某部件损坏，可简便的进行单部件更换；如需调节温区等，也可以简便的进行结构更换；节约了成本和时间。

2、炉体体积小，可以减少设备的体积。

3、黄金石英炉壳对热量进行反射，以及主控炉丝和副控炉丝的缠绕方式，可以达到更快的升温速率，可以节约能源和时间；并能达到±0.1℃的控温精度，可满足对控温精度高的工艺。

附图说明

图1为本实用新型所述加热炉的示意图。

图中各件号说明：

1-瓷夹板；2-支撑瓷杆；3-主控炉丝；4-副控炉丝；5-黄金炉壳；6-热偶。

具体实施方式

结合图1对本实用新型所述的加热炉进行详细说明。

本实用新型所述的加热炉，由多根支撑磁杆2以及与之连接的瓷夹板1组成，支撑磁杆2穿过两端瓷夹板1上对应的开孔，从而组成炉体基本的框架。

主控炉丝3均匀的缠绕在该框架的支撑磁杆2上，为防止主控与副控炉丝短路，副控炉丝4套绝缘瓷管缠绕在炉体两端。

黄金炉壳5套在缠绕完成的框架上。

热偶6及引线均由两端瓷夹板1上的开孔引出。

两端瓷夹板1由其四个角上的螺柱连接固定。

本实用新型主要利用了黄金炉壳对热量的反射及主控和副控缠绕的方式达到更快的升温速率和控温精度，同时具有拆卸、维修方便以及便于调整温区的优点。