[实用新型]高压大流量高纯气体充装设备的纯化系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及气体充装技术领域，具体地说是一种高压大流量高纯气体充装设备的纯化系统。

背景技术

 参见图1，目前国内最常见的高纯气体充装工艺是采用低温低压液化气体经低温高压液泵2增压，汽化器3汽化成高压气体后，通过气体充装汇流排4将气体充装至气瓶。该工艺生产的高纯气体的质量取决于原料液态气的质量，但国内市场的原料液态气体中微量氧含量超标是较为普遍的。如果原料液态气中微量氧的含量超过国家的相关标准，那么就会导致生产出的高纯气体不合格。

有些企业采用低压纯化，高压膜压机升压来充装高纯气体，但这种充装工艺只能对少量的高纯气体进行充装，无法满足大规模的生产需求。

在国外进口的供气系统中偶尔能见到，15MPa高压，150Nm³/h大流量的高压纯化用于气体充装系统。但这种气体充装系统失效后，必须运回原产国的制造单位进行再生。再生过程不仅由于巨大的运输费用而造成生产成本增加，也由于气体充装系统被运回原厂而导致生产进度的延误。

因此，设计一种合格率高且能够在原地再生的高压大流量高纯气体充装设备的纯化系统是至关重要的。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供了一种合格率高且能够在原地再生的高压大流量高纯气体充装设备的纯化系统。

为了达到上述目的，本实用新型设计了一种高压大流量高纯气体充装设备的纯化系统，包括汽化器和气体充装汇流排，其特征在于：汽化器的输出端分别与高压截止阀一的一端以及高压旁通阀的一端连接，高压截止阀一的另一端与单向阀的输入端连接，单向阀的输出端分别与再生排放阀以及脱氧脱水塔的一端连接，脱氧脱水塔的另一端分别与再生进气阀以及高压过滤器的一端连接，高压过滤器的另一端与背压阀的一端连接，背压阀的另一端分别与压力表以及高压截止阀二的一端连接，高压截止阀二的另一端分别与高压旁通阀的另一端以及气体充装汇流排的输入端连接。

所述的高压过滤器的滤芯为不锈钢粉末冶金，形状为杯形，滤芯尺寸为Ф38*Ф32*46mm，过滤精度为40微米, 额定工作压力为20MPa。

所述的背压阀采用美国TESCOM的26-1764-28-184，背压阀设定的压力为13.5MPa，工作压力为6000psi，压力可调范围为15-2500psi，Cv值为0.6。

所述的脱氧脱水塔内的填充物为高效脱氧剂，高效脱氧剂是由活性MnO成型制成。

本实用新型同现有技术相比，在汽化器与气体充装汇流排之间增设纯化系统，使高纯气体能够进行纯化，从而避免了由于原料液态气中微量氧含量超标而导致高纯气体不合格的问题；本实用新型采用氮气和氢气对纯化系统进行再生，使纯化系统可以在原地进行再生工艺，也满足了高纯气体大流量生产的需求。

附图说明

图1为现有技术的结构示意图。

图2为本实用新型的结构示意图。

参见图1和图2，1为液体储罐；2为低温高压液泵；3为汽化器；4为气体充装汇流排；5为高压截止阀一；6为单向阀；7为高压截止阀二；8为高压旁通阀；9为再生排放阀；10为再生进气阀；11为高压过滤器；12为背压阀；13为压力表；14为脱氧脱水塔。

具体实施方式

现结合附图对本实用新型做进一步描述。

参见图2，本实用新型设计了一种高压大流量高纯气体充装设备的纯化系统，包括汽化器和气体充装汇流排。汽化器3的输出端分别与高压截止阀一5的一端以及高压旁通阀8的一端连接，高压截止阀一5的另一端与单向阀6的输入端连接，单向阀6的输出端分别与再生排放阀9以及脱氧脱水塔14的一端连接，脱氧脱水塔14的另一端分别与再生进气阀10以及高压过滤器11的一端连接，高压过滤器11的另一端与背压阀12的一端连接，背压阀12的另一端分别与压力表13以及高压截止阀二7的一端连接，高压截止阀二7的另一端分别与高压旁通阀8的另一端以及气体充装汇流排4的输入端连接。