[实用新型]OLED蒸镀用掩膜板有效
| 申请号： | 201220434085.0 | 申请日： | 2012-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN202786401U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 高昕伟 | 申请（专利权）人： | 四川虹视显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L27/32;H01L51/56 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 周永宏 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | oled 蒸镀用掩膜板 | ||
【权利要求书】：
1.OLED蒸镀用掩膜板，包括设置在掩膜板本体（1）上的至少一个蒸镀单元（3），每一个蒸镀单元（3）包含呈规则排列的蒸镀缺口（301），其特征在于：所述掩膜板本体（1）上位于其蒸镀单元（3）处的厚度（H1）小于该掩膜板本体（1）的外形厚度（H2）。
2.如权利要求1所述的OLED蒸镀用掩膜板，其特征在于：所述蒸镀单元（3）设置在位于掩膜板本体（1）上与之对应的预成型凹槽（2）的底部。
3.如权利要求2所述的OLED蒸镀用掩膜板，其特征在于：所述预成型凹槽（2）的大小与对应的蒸镀单元（3）的大小一致或略大于该蒸镀单元（3）的大小。
4.如权利要求1、2或3所述的OLED蒸镀用掩膜板，其特征在于：所述掩膜板本体（1）上位于其蒸镀单元（3）处的厚度（H1）为10至30微米，该掩膜板本体（1）的外形厚度（H2）为30至150微米。
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