[实用新型]一种晶体退火炉有效
申请号: | 201220423744.0 | 申请日: | 2012-08-24 |
公开(公告)号: | CN202830232U | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
发明(设计)人: | 刘景峰 | 申请(专利权)人: | 北京奇峰蓝达光学科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B33/02 | 分类号: | C30B33/02 |
代理公司: | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人: | 尹振启;张显光 |
地址: | 100016 北京市朝*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体 退火炉 | ||
1.一种晶体退火炉,包括炉壁、炉门,炉壁围绕构成炉膛,炉膛内设置有加热装置,其特征在于,所述炉膛内设置有保温罩,保温罩上设置有通气孔,在保温罩内设置有承托待退火晶体的支架,所述炉膛内设置有输入氧气的通气管,炉门设置有排气装置。
2.如权利要求1所述的退火炉,其特征在于,所述炉壁设置有耐火层,耐火层外部设置有保温层,保温层外部设置有壳体。
3.如权利要求1所述的退火炉,其特征在于,所述炉膛内还设置有测温装置,该测温装置由热电偶、测温仪表构成。
4.如权利要求1所述的退火炉,其特征在于,所述通气管由石英构成,在炉膛内折弯铺设,端部封闭,在靠近端部的管壁上开设有若干出气孔。
5.如权利要求1所述的退火炉,其特征在于,所述加热装置由碳硅棒构成,在炉膛内靠近侧壁设置。
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