[实用新型]具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统

权利要求书

1.具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统，其特征在于：包括依次连接的蚀刻生产线用水设备（1）、中转母液罐（2）、母液罐（3）、碱性蚀刻液循环再生设备组（6）、再生子液罐组（8）、配液罐（11）、过滤器（12）、子液罐组（16），子液罐组（16）再与蚀刻生产线用水设备（1）连接形成循环，所述相邻的两个部件之间均设置有高压泵。

2.根据权利要求1所述的具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统，其特征在于：所述碱性蚀刻液循环再生设备组（6）包括三通电子阀门Ⅰ（4）和两个并联的碱性蚀刻液循环再生设备（5），所述三通电子阀门Ⅰ（4）的两个出口端分别与两个并联的碱性蚀刻液循环再生设备（5）的进口端连接。

3.根据权利要求2所述的具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统，其特征在于：所述碱性蚀刻液循环再生设备（5）包括电解槽（17）和与电解槽（17）相连的温控槽（19），电解槽（17）上端设有将电解槽（17）和温控槽（19）连通的两根平行的溢流管（18），电解槽（17）下端设有循环管（24）和出水管（22），循环管（24）一端与电解槽（17）连通，另一端与温控槽（19）下端连通，循环管（24）上还设有循环泵（25），出水管（22）上设有控制阀门Ⅰ（26），所述温控槽（19）底端还设有母液管（20），母液管上同样设有控制阀门Ⅱ（23）。

4.根据权利要求3所述的碱性蚀刻液循环再生系统，其特征在于：所述温控槽（19）的下端还设有排污管，排污管上设有开关阀门（21），所述排污管与出水管连通。

5.根据权利要求1所述的具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统，其特征在于：所述再生子液罐组（8）包括三通电子阀门ⅡⅢ（7）和两个并联的再生子液罐（9）和备用再生子液罐（10），所述三通电子阀门Ⅱ（7）的两个出口端分别与两个并联的再生子液罐（9）和备用再生子液罐（10）的进口端连接。

6.根据权利要求1所述的具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统，其特征在于：所述子液罐组（16）包括三通电子阀门Ⅲ（13）和两个并联的子液罐（15）和备用子液罐（14），所述三通电子阀门Ⅲ（13）的两个出口端分别与两个并联的子液罐（15）和备用子液罐（14）的进口端连接。

7.根据权利要求1所述的具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统，其特征在于：所述具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统全部采用封闭式循环结构。

8.根据权利要求1所述的具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统，其特征在于：所述具有安全性和灵活性的碱性蚀刻液循环再生系统连接有PLC自动控制系统。