[实用新型]一种气动装置及真空检测设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及可提供动力的气动装置技术领域，尤其涉及一种气动装置及真空检测设备。

背景技术

液晶显示面板是由阵列基板和彩膜基板对盒后填充液晶而形成，其中阵列基板是单独制作而成，通常在制作完阵列基板后，为了检测阵列基板的一些性能是否符合要求，还需要利用真空检测设备对阵列基板进行检测。

真空检测设备包括真空腔室，真空腔室的内部设有放置阵列基板的上平台，上平台通过运动机构的动作可以在真空腔室内分别沿X、Y、Z这三个互相垂直的方向运动，其中，沿X、Y方向的运动为平面运动，且通过运动机构中的电机来驱动运动机构的水平运动；沿Z方向的运动为上下运动，且通过运动机构中的气缸来驱动运动机构的上下运动，供给气缸运动的气源装置通过软管将气体输送到气缸内部，由于气源装置位于真空腔室的下部，因此软管从真空腔室的下部经过较长的距离与气缸连接，当运动机构进行平面运动时(X方向或Y方向)软管会随之产生比较复杂的空间运动，如软管会产生扭曲、折叠、挤压、拉长等破坏性动作，这样可使得软管比较容易磨损、折裂等损害，不利于气体的正常输送，而且还可能发生漏气，破坏真空腔室内的真空环境，从而影响真空检测设备检测的准确性。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种气动装置及真空检测设备，能够保证真空检测设备检测的准确性。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种气动装置，包括第一导轨，所述第一导轨上设有可滑动的第二导轨，所述第二导轨上设有可滑动的第一平台，所述第一平台上通过气缸连接有第二平台，其中，所述第一导轨与所述第二导轨之间沿所述第一导轨的方向连接有可伸缩的第一气管，且所述第一导轨设有连通所述第一气管和气源装置的第一管道；

所述第二导轨与所述第一平台之间沿所述第二导轨的方向连接有可伸缩的第二气管，且所述第二导轨设有连通所述第一气管和所述第二气管的第二管道，所述第二气管与所述气缸的进气端的连通。

优选地，所述可伸缩的第一气管和/或所述可伸缩的第二气管为金属波纹管。

优选地，所述第一导轨和所述第二导轨分别通过第一连接法兰连接所述第一气管；所述第二导轨和所述第一平台分别通过第二连接法兰连接所述第二气管。

进一步地，所述第一导轨和第二导轨与所述第一气管的接触面上分别设有第一密封片。

进一步地，所述第二导轨和第一平台与所述第二气管的接触面上分别设有第二密封片。

此外，所述第一管道可以安装在所述第一导轨的内部；所述第二管道可以安装在所述第二导轨的内部。

所述第一管道还可以一体成型于所述第一导轨的内部；所述第二管道也可以一体成型于所述第二导轨的内部。

本实用新型还提供了一种真空检测设备，所述真空检测设备包括真空腔室，所述真空腔室内设置有上述的气动装置。

本实用新型实施例提供的真空检测设备的气动装置，其中所述气动装置中的所述第一导轨与所述第二导轨之间沿所述第一导轨的方向连接有可伸缩的第一气管，且所述第一导轨设有连通所述第一气管和气源装置的第一管道；所述第二导轨与所述第一平台之间沿所述第二导轨的方向连接有可伸缩的第二气管，且所述第二导轨设有连通所述第一气管和所述第二气管的第二管道，所述第二气管与所述气缸的进气端的连通，这样气源装置中的气体传送到气缸进气端的路径依次为第一管道、第一气管、第二管道以及第二气管，进而可以实现气缸的运动，并可以带动第二平台上下运动。

进一步地，当第二导轨沿第一导轨滑动时，第一气管可随第二导轨沿第一导轨的方向伸长或压缩，同理，第一平台沿第二导轨滑动时，第二气管可随第一平台沿第二导轨的方向伸长或压缩，因此这种可伸缩的第一气管和第二气管在第二导轨或第一平台水平运动时不易发生磨损或折裂等，可以使输送气体的装置不易破坏，进而使得气体不易发生泄漏，从而可以较好地避免真空腔室内真空环境被破坏，保证真空检测设备检测的准确性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用型新实施例真空检测设备的气动装置的示意图；

图2为本实用型新实施例真空检测设备的气动装置中第一导轨与第二导轨之间连接第一气管的示意图；

图3为图2中A-A的剖视示意图；