[实用新型]一种工件架TCO玻璃膜面检测装置有效
| 申请号: | 201220415974.2 | 申请日: | 2012-08-21 |
| 公开(公告)号: | CN202796875U | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
| 发明(设计)人: | 陈健健;吕勇;李先林;代飞顺;魏雪林;王策 | 申请(专利权)人: | 海南汉能光伏有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏晓波 |
| 地址: | 570125 海南省海口*** | 国省代码: | 海南;66 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 工件 tco 玻璃 检测 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及薄膜太阳能电池制造技术领域,更具体的说是涉及一种在镀膜过程中所用到的对工件架上的TCO玻璃膜面进行的检测的装置。
背景技术
TCO(Transparent conducting oxide)玻璃是一种在玻璃基板的一个侧面上镀有导电膜的光伏玻璃,即透明导电氧化物镀膜玻璃,它是在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜的方法均匀镀上一层透明的导电氧化物薄膜。
而在玻璃基薄膜太阳能电池的生产过程中,需要在玻璃基板表面的TCO导电薄膜面上镀制一层半导体膜,然后再镀制背电极,在TCO玻璃的导电薄膜面上进行半导体膜的镀制是将多片TCO玻璃直立放置于用于镀膜的工件架内,工件架结构如图1中所示,其中TCO玻璃06上镀有导电氧化物薄膜的一侧暴露于气体室03内,以在其表面继续镀膜,而TCO玻璃06的另一侧紧贴在与射频电级或者地线相连的隔板01上,工件架的顶板02上设置有供特气进入的气孔,在镀膜过程中工件架的顶板02和底板05均接地,与射频电极相连的隔板的顶端和底端分别设置有与顶板02和底板05绝缘的绝缘塑料04。
由此可见,TCO在工件架内放置时,必须使其镀有导电氧化物薄膜的一侧暴露在气体室内,一旦TCO玻璃放反,整片TCO玻璃将完全报废,然而TCO玻璃的哪一个侧面上镀有导电氧化膜用肉眼是很难进行分辨的,因此目前一般是通过万用表利用导电氧化物薄膜的导电性逐片进行检测。
然而该种检测方法不仅需要花费较长时间进行TCO玻璃膜面的检测,同时由于工件架上放置的TCO玻璃较多,并且气体室的形状大小都是一致的,因而通过人工使万用表进行检测很容易出现漏检情况。
因此,如何开发一种工件架上的TCO玻璃膜面的检测装置,以实现快速对工件架上的TCO玻璃膜面进行检测,同时防止出现漏检情况是目前本领域技术人员亟需解决的技术问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种工件架TCO玻璃膜面检测装置,用于对放置于工件架的气体室内的TCO玻璃膜面进行检测,以实现快速对工件架上的TCO玻璃膜面进行检测,同时防止漏检情况的出现。
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种工件架TCO玻璃膜面检测装置,包括:
安装座,所述安装座至少包括长度不小于所述工件架长度的底板和设置于所述底板上且与底板垂直的侧板,所述侧板的板面与所述底板的长边平行,所述底板上还设置有与所述工件架气体室数量一致并分别与每个气体室相对应的支撑柱;
设置于所述支撑柱上的测量夹,所述测量夹包括铰接于同一支撑柱的第一夹臂和第二夹臂,且所述测量夹一端伸出所述底板,另一端靠近所述侧板,且伸出底板一端的第一夹臂和第二夹臂的外侧分别设置有多个用于与TCO玻璃膜面相接触的电极触头,所述电极触头互不接触;
滑杆,所述滑杆可左右滑动地设置于所述侧板与所述测量夹相对的一面上,且所述滑杆至少一端伸出所述侧板,所述测量夹靠近所述侧板的一端与所述滑杆相连,且可随着所述滑杆的滑动实现另一端的张开和闭合;
导线,所述导线将每个测量夹的第一夹臂上的两个不同的电极触头、第二夹臂上的两个不同电极触头以及指示灯分别串联为独立测量单元;
用于为所述独立测量单元提供能源的电源,所述独立测量单元均与所述电源并联。
优选的,还包括设置于所述底板上用于改变拉力方向的变向轮,所述测量夹靠近所述侧板一端的第一夹臂或第二夹臂与弹簧的一端相连,另外一个夹臂与牵引线相连,所述弹簧的另一端与所述滑杆连接,所述牵引线绕过所述变向轮并与所述滑杆相连。
优选的,还包括设置与所述侧板上的滑杆固定环,所述滑杆设置于所述滑杆固定环内。
优选的,还包括设置与所述测量夹靠近所述侧板一端第一夹臂和第二夹臂之间的第一缓冲弹簧,所述第一缓冲弹簧在所述测量夹另一端张开时处于拉伸状态。
优选的,还包括设置于所述测量夹具有电极触头一端的第一夹臂和第二夹臂之间的第二缓冲弹簧,所述第二缓冲弹簧在所述测量夹具有电极触头一端张开时处于拉伸状态。
优选的,所述安装座为包括底板和侧板的箱体,所述箱体的一侧设置有用于所述测量夹伸出所述箱体的测量夹孔,所述箱体的端面设置有用于所述滑杆穿出箱体的滑杆孔,所述电源设置于所述箱体内,所述指示灯为LED灯,且所述LED灯设置于所述箱体的表面。
优选的,所述电源为与所述指示灯电压适配的电池。
优选的,所述指示灯与所述工件架上的气体室相对应地设置于所述侧板上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





