[实用新型]一种新型混合节能式半导体制程用制冷机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种新型混合节能式半导体制程用制冷机。

背景技术

目前，随着社会的发展，制冷机的应用涉及到各个领域，现有的制冷机采用实时的预热器控制，会增加很大的电能消耗，而且其温度控制算法，针对外部的特殊情况应对能力不足。

实用新型内容

本实用新型的目的是为半导体生产线中DRY ETCH（干蚀刻），CVD（化学气相沉积）制程提供一种混合式制冷机，克服现有产品中能量消耗大，系统控制不完善的不足。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现：

一种新型混合节能式半导体制程用制冷机，包括热交换器，所述热交换器包括热交换器一和热交换器二，热交换器一和热交换器二分别连接有蒸发器一和蒸发器二，蒸发器一和蒸发器二均连接有储水罐，储水罐的出口处设有冷却剂泵，蒸发器一和蒸发器二连接有两台相配合的压缩机，两台压缩机连接有冷凝器，冷凝器分别连接有电子膨胀阀门和脉宽调制阀门，电子膨胀阀门连接蒸发器一，脉宽调制阀门连接蒸发器二。

本实用新型的有益效果为：本实用新型提供的一种新型混合节能式半导体制程用制冷机，能够根据制程所需功率来控制实时冷媒流量，同时可以控制压缩机的运行台数及其运行功率，由于制冷机在投入制程后不间断24小时运行，这种混合式的方法可以大幅度地降低能量的消耗，节能环保，同时能够实现长时间无故障运行，确保在高温状态下的安全运行。

附图说明

下面根据附图对本实用新型作进一步详细说明。

图1是本实用新型实施例所述的一种新型混合节能式半导体制程用制冷机的工作原理图。

图中：

1、热交换器一；2、热交换器二；3、蒸发器一；4、蒸发器二；5、储水罐；6、冷却剂泵；7、压缩机；8、电子膨胀阀门；9、脉宽调制阀门；10、冷凝器。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型实施例所述的一种新型混合节能式半导体制程用制冷机，包括热交换器，所述热交换器包括热交换器一1和热交换器二2，热交换器一1和热交换器二2分别连接有蒸发器一3和蒸发器二4，蒸发器一3和蒸发器二4均连接有储水罐5，储水罐5的出口处设有冷却剂泵6，蒸发器一3和蒸发器二4连接有两台相配合的压缩机7，两台压缩机7连接有冷凝器10，冷凝器10分别连接有电子膨胀阀门8和脉宽调制阀门9，电子膨胀阀门8连接蒸发器一3，脉宽调制阀门9连接蒸发器二4。

使用时，压缩机7吸收蒸发器一3和蒸发器二4内的低温低压冷媒蒸汽，进行压缩后，向冷凝器10排放高温高压蒸汽，通过冷凝器10后冷媒蒸汽形成冷媒液形态，冷媒液分别通过电子膨胀阀门8和脉宽调制阀门9进入蒸发器一3和蒸发器二4，储水罐5暂时储存暂时冷凝的冷媒液，蒸发器一3和蒸发器二4内的低温低压冷媒吸收热量饱和蒸发，再次进入压缩机7，重复循环；其中，压缩机7设有两个，其作用在于，当半导体制程所需制冷功率小的时候，可以自动调节，只运行其中一台压缩机7，当半导体制程中所需制冷功率大的时候，两台可以同时运行，因此能够达到节能效果，整个工作状态会根据制程所需自动进行调节。

本实用新型不局限于上述最佳实施方式，任何人在本实用新型的启示下都可得出其他各种形式的产品，但不论在其形状或结构上作任何变化，凡是具有与本申请相同或相近似的技术方案，均落在本实用新型的保护范围之内。