[实用新型]密封圈拆卸工具

说明书

技术领域

本实用新型涉及工具，尤其涉及一种密封圈拆卸工具。

背景技术

目前，在半导体制造领域内，需要使用大量的反应腔进行各种工艺制程。

请参阅图1和图2，现有的反应腔，通常包括腔体1和上盖（未图示），所述上盖可拆卸式设置于所述腔体1的上方，所述腔体1和上盖形成一个密闭的反应室，所述腔体1通常是圆形腔室，在腔体壁的顶部开设用于设置密封圈2的圆形凹槽11。

当反应腔使用一段时间后，维护人员需要对密封圈2进行更换。然而，目前没有专门的工具用于抓取密封圈，而采用通用的夹钳，容易损伤凹槽，使得后续产生泄漏问题。因此，如何提供一种可以快速、安全的拆卸密封圈的密封圈拆卸工具是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种密封圈拆卸工具，可以实现密封圈的快速、安全拆卸。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种密封圈拆卸工具，包括空心的手柄、两个夹臂以及限位架，所述两个夹臂交叉设置并且相互转动连接，所述限位架设置于所述手柄的一端，所述两个夹臂的一端分别经手柄的管壁向外伸出，所述两个夹臂的另一端分别经所述限位架向外伸出，所述限位架具有两个分别供对应的夹臂的另一端伸出的开口，调节所述两个夹臂的一端能够控制所述两个夹臂的另一端之间夹持距离。

优选的，在上述的密封圈拆卸工具中，所述两个分别供对应的夹臂的另一端伸出的开口之间具有用于防止所述两个夹臂的另一端相互接触的隔板。

优选的，在上述的密封圈拆卸工具中，所述手柄对应所述两个夹臂的位置分别开设有条形槽。

优选的，在上述的密封圈拆卸工具中，所述两个夹臂通过销轴连接。

优选的，在上述的密封圈拆卸工具中，所述手柄的另一端设有一便于握持的握持部。

优选的，在上述的密封圈拆卸工具中，所述握持部的外部设有弹性材料。

优选的，在上述的密封圈拆卸工具中，所述两个夹臂采用不锈钢材质。

优选的，在上述的密封圈拆卸工具中，所述两个夹臂均呈“C”字型结构。

优选的，在上述的密封圈拆卸工具中，所述两个夹臂的一端分别设有凸部。

优选的，在上述的密封圈拆卸工具中，所述两个夹臂的另一端分别设有尖部。

本实用新型提供的密封圈拆卸工具，包括空心的手柄、两个夹臂以及限位架，所述两个夹臂交叉设置并且相互转动连接，所述限位架设置于所述手柄的一端，所述两个夹臂的一端分别经手柄的管壁向外伸出，所述两个夹臂的另一端分别经所述限位架向外伸出，所述限位架具有两个分别供对应的夹臂的另一端伸出的开口，通过调节所述两个夹臂的一端能够控制所述两个夹臂的另一端之间夹持距离，当需要拆卸位于凹槽中的密封圈时，先将所述两个夹臂的另一端调节到合适的距离即略微小于凹槽的宽度；然后，对准密封圈的位置向下插入到凹槽中；接着，夹紧所述两个夹臂的另一端；最后，将密封圈拉出，从而在不损害凹槽的情况下，安全、便捷地完成密封圈的拆除工作。

附图说明

本实用新型的密封圈拆卸工具由以下的实施例及附图给出。

图1为反应腔室中的腔体的结构示意图。

图2为反应腔室中的腔体的腔体壁的剖视示意图。

图3为本实用新型一实施例的密封圈拆卸工具的结构示意图。

图4为本实用新型一实施例的密封圈拆卸工具的剖视示意图。

图5为本实用新型一实施例的密封圈拆卸工具中限位架和手柄的装配示意图。

图6为本实用新型一实施例的密封圈拆卸工具的使用状态示意图。

图中，1-腔体、2-密封圈、3-手柄、31-长条形槽、32-握持部、4-夹臂、41-尖部、42-凸部、5-限位架、51-开口、52-隔板、6-销轴。

具体实施方式

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。