[实用新型]直驱式纳米级精密定位平台有效
| 申请号： | 201220411967.5 | 申请日： | 2012-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN202695554U | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 陈峰;邓恩坤 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨芯明天科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 杨立超 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 直驱式 纳米 精密 定位 平台 | ||
【权利要求书】：
1.一种直驱式纳米级精密定位平台，所述微动台包括台体(1)、顶丝(2)、顶块(3)、封装式压电陶瓷(4)、螺钉(5)、柔性铰链(6)和移动板(7)，其特征在于台体(1)内开有凹槽(1-1)，封装式压电陶瓷(4)装在凹槽(1-1)内，封装式压电陶瓷(4)的底座部通过螺钉(5)与台体(1)固定，封装式压电陶瓷(4)的移动端外部套装顶块(3)，封装式压电陶瓷(4)的移动端及顶块(3)的一端顶靠在柔性铰链(6)上，顶丝(2)穿过顶块(3)顶靠在封装式压电陶瓷(4)的移动端上，柔性铰链(6)围成为长方形嵌在台体(1)内，移动板(7)设在柔性铰链(6)上且二者制成一体。
2.根据权利要求1所述的直驱式纳米级精密定位平台，其特征在于所述移动板(7)上设有多个安装孔(7-1)，安装孔(7-1)内设有用于与其他结构连接的连接件。
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