[实用新型]锂离子电池材料的连续式化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种锂离子电池材料的连续式化学气相沉积设备，其特征在于：所述锂离子电池材料的连续式化学气相沉积设备设有反应室（1）、传动装置（2）、沉积装置（3），所述反应室（1）为可移动装置，所述传动装置（2）为传输带循环式传动机，整个传动装置（2）穿置于两端为敞口的四周封闭的分别为预热段、沉积段和降温段的流程通道（4）内，在传动装置（2）的输送下，所述反应室（1）由上料端经预热段、沉积段、降温段传至下料端，所述沉积装置（3）置于所述的沉积段，在所述流程通道（4）的内侧壁上设有将电能传至反应室（1）的导电轨道。

2.根据权利要求1所述的锂离子电池材料的连续式化学气相沉积设备，其特征在于：所述反应室（1）由托架（11）、不少于一个水平置于托架（11）上并盛装粉状基体（17）的两端敞口的石英管（12）、非接触式套置在石英管（12）外周的螺旋形的电加热器（13）及可使石英管（12）旋转的驱动装置构成，所述电加热器（13）和驱动装置通过设于托架（11）上的弹簧电极（14）与外接电源相连。

3.根据权利要求2所述的锂离子电池材料的连续式化学气相沉积设备，其特征在于：在所述石英管（12）上接近两端的位置，设有向内凹进的缩颈式的滚槽（121），所述驱动装置由固定在托架（11）上的电动机（15）、位于托架（11）两端的由电动机（15）驱动其旋转的主滚轮（16）和从滚轮构成，主滚轮（16）与从滚轮水平设置，所述石英管（12）置于主滚轮（16）与从滚轮之间，主滚轮（16）与从滚轮的轮盘分别与所述滚槽（121）内面相触。

4.根据权利要求3所述的锂离子电池材料的连续式化学气相沉积设备，其特征在于：所述石英管（12）的两端，一端为进粉端（122），另一端为出粉端（123），进粉端（122）开口直径大于出粉端（123）的开口直径，在出粉端（123）设有粉尘过滤网。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的锂离子电池材料的连续式化学气相沉积设备，其特征在于：所述沉积装置（3）由可以升降的向所述石英管（12）内充入反应气和/或保护气的供气组件（31）、将石英管（12）中经化学气相沉积反应后产生的废气排出的废气排出组件（32）及不少于一个触动开关和使反应室（1）定位的定位气缸构成。

6.根据权利要求5所述的锂离子电池材料的连续式化学气相沉积设备，其特征在于：所述供气组件（31）由并列设置的反应气供气管与保护气供气管、喷气直管（33）、控制喷气直管（33）垂直移动的升降气缸（35）及控制喷气直管（33）水平移动的平移气缸（36）构成，反应气供气管与保护气供气管的下端分别接于喷气直管（33）的进口端，喷气直管（33）的出口端为其上设有向下敞开的不少于一个的出气孔（34）。

7.根据权利要求5所述的锂离子电池材料的连续式化学气相沉积设备，其特征在于：所述废气排出组件（32）由排气管、抽气泵和控制排气管垂直移动的排气气缸（37）构成，排气管的进气端朝向反应室（1），其出气端通过抽气泵与废气回收室连接。

8.根据权利要求7所述的锂离子电池材料的连续式化学气相沉积设备，其特征在于：所述预热段设有不少于二个工位（5）。

9.根据权利要求8所述的锂离子电池材料的连续式化学气相沉积设备，其特征在于：所述沉积段设有不少于二个工位（5）。

10.根据权利要求9所述的锂离子电池材料的连续式化学气相沉积设备，其特征在于：所述降温段设有不少于二个工位（5）。