[实用新型]单晶硅区熔拉伸炉控制系统

权利要求书

1. 一种单晶硅区熔拉伸炉控制系统，包括：

上轴旋转速度检测装置，用于检测上轴旋转速度；

上轴送料速度检测装置，用于检测上轴位移速度；

下轴旋转速度检测装置，用于检测下轴旋转速度；

下轴拉伸速度检测装置，用于检测下轴位移速度；

炉膛温度检测装置，用于检测炉膛温度；

炉膛气压检测装置，用于检测炉膛惰性气体充气压力；

数据采集模块，用于将上述检测装置获得的信号转换成数字信号；

存储器，用于存储信号数据、控制参数设定值及信号处理计算模型；

中央处理器，用于处理上述检测信号，输出控制信号；

控制信号输出模块，用于输出控制信号，将数字控制信号转换成模拟信号；

上轴旋转速度控制器，用于控制上轴旋转电机的速度；

上轴送料速度控制器，用于控制上轴送料电机的速度；

下轴旋转速度控制器，用于控制下轴旋转电机的速度；

下轴拉伸速度控制器，用于控制下轴拉伸电机的速度；

炉膛温度控制器，用于控制感应加热器的功率；

炉膛气压控制器，用于控制惰性气体的充气压力；

所述中央处理器将上轴旋转速度信号数据与其设定值进行比较，向上轴旋转速度控制器输出控制信号，控制上轴旋转电机的速度；将上轴送料速度信号数据与其设定值进行比较，向上轴送料速度控制器输出控制信号，控制上轴送料电机的速度；将下轴旋转速度信号数据与其设定值进行比较，向下轴旋转速度控制器输出控制信号，控制下轴旋转电机的速度；将下轴拉伸速度信号数据与其设定值进行比较，向下轴拉伸速度控制器输出控制信号，控制下轴拉伸电机的速度；将炉膛温度信号数据与其设定值进行比较，向炉膛温度控制器输出控制信号，控制感应加热器的功率；将炉膛气压信号数据与其设定值进行比较，向炉膛气压控制器输出控制信号，控制惰性气体充气阀的开度。

2.如权利要求1所述的单晶硅区熔拉伸炉控制系统，其特征在于，该系统还包括下轴滑座行程检测装置、下轴滑座行程控制器，所述中央处理器将下轴滑座行程信号数据与其设定值进行比较，向下轴滑座行程控制器输出控制信号，控制下轴快速升降电机的启、停。

3.如权利要求2所述的单晶硅区熔拉伸炉控制系统，其特征在于，所述下轴滑座行程检测装置采用磁电感应检测元件。

4.如权利要求1所述的单晶硅区熔拉伸炉控制系统，其特征在于，所述各电机与其驱动对象之间配有蜗轮蜗杆传动副，电机输出轴通过联轴器与蜗杆联接，该联轴器采用柔性联轴器。

5.如权利要求1所述的单晶硅区熔拉伸炉控制系统，其特征在于，所述上轴配有快速升降电机及其蜗轮蜗杆传动副。

6.如权利要求1所述的单晶硅区熔拉伸炉控制系统，其特征在于，该系统的各种信号线路均采用屏蔽电缆。

7.如权利要求6所述的单晶硅区熔拉伸炉控制系统，其特征在于，所述屏蔽电缆的两端配有磁环。

8.如权利要求1所述的单晶硅区熔拉伸炉控制系统，其特征在于，该系统还配有触摸屏，用于控制参数设定值、计算模型录入操作及显示操作界面。

9.如权利要求1所述的单晶硅区熔拉伸炉控制系统，其特征在于，该系统还配有手动开关，用于故障时紧急停机。