[实用新型]一种晶棒切割固定框有效
申请号: | 201220406596.1 | 申请日: | 2012-08-16 |
公开(公告)号: | CN202826117U | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
发明(设计)人: | 刘宝成 | 申请(专利权)人: | 河南恒昌电子有限公司 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 461500 河南省许昌市长葛市黄河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 切割 固定 | ||
技术领域
本实用新型涉及半导体生产技术设备的部件,具体地说是涉及一种晶棒切割固定框。
背景技术
切割半导体晶块是在多线切割机上进行的,固定晶棒的是固定框,固定框将晶棒定位,现有技术中,固定框是方形的凹槽,这样往往存在着晶棒固定不牢的缺点,影响切割的效率和质量。
发明内容
本实用新型的目的就是针对上述缺点,提供一种生产效率更高、切割的质量更好的晶棒切割固定框。
本实用新型的技术方案是这样实现的:晶棒切割固定框,包括固定框本体,固定框本体具有凹槽,其特征是:所述的凹槽是圆弧形的凹槽。
进一步的讲,所述的凹槽是多个的。
进一步的讲,所述的凹槽中间设置有纹路。
本实用新型的有益效果是:这样的晶棒切割固定框具有生产效率更高、切割的质量更好的优点。
附图说明
图1是本实用新型晶棒切割固定框的结构示意图。
其中: 1、固定框本体 2、凹槽 3、纹路。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。
如图1所示,晶棒切割固定框,包括固定框本体1,固定框本体1具有凹槽2,其特征是:所述的凹槽2是圆弧形的凹槽。
因为晶棒是圆形的,圆弧形的凹槽结合的面积更多,就更牢固,晶棒不易错位,保证切割的质量。
进一步的讲,所述的凹槽2是多个的,这样一个固定框就可以同时固定多个晶棒保证了生产效率。
进一步的讲,所述的凹槽中间设置有纹路3。这样就会使晶棒粘接的更牢固。
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