[实用新型]石墨工艺钉有效
申请号: | 201220406032.8 | 申请日: | 2012-08-15 |
公开(公告)号: | CN202796900U | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 吴建洪 | 申请(专利权)人: | 常州市立新石墨有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 金辉 |
地址: | 213102 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 工艺 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种石墨工艺钉,特别涉及一种圆柱体突台石墨工艺钉。
背景技术
太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜,其作用是提高硅片的太阳能转化率。这个工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中,经过一定的条件产生化学反映,在硅片表面镀上一层膜。
石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率,现有石墨舟包括:石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为:将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上,每个舟片上可放固定数量的硅片,然后,将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内,采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后,取出石墨舟,将硅片从石墨舟上卸取下来。
石墨工艺钉用于限定硅片的位置,通常由2-3个石墨工艺钉组合成一定角度,有效限定硅片的位置,常用的石墨工艺钉用于卡硅片的突台为菱形的,但因为菱形的尖角部位才能卡住硅片,因此安装硅片时石墨工艺钉的突台菱形尖角的位置不准确时需要调整其到合适的位置,因此影响安装效率,增加安装难度。
实用新型内容
本实用新型的目的是解决上述不足,提供一种没有硅片安装角度问题,硅片安装效率高的石墨工艺钉。
实现本实用新型目的技术方案是:一种石墨工艺钉,其中部为圆柱结构,其上部和下部设有上突台和下突台,上突台和下突台上分别开有上卡槽和下卡槽。
上述石墨工艺钉,所述上突台和下突台为开有卡槽的圆柱体。
上述石墨工艺钉,所述上卡槽和下卡槽分别开设在上突台和下突台的尾端且紧邻中部圆柱结构的位置。
上述石墨工艺钉,上卡槽和下卡槽为沿圆柱结构对称。
本实用新型具有积极的效果:(1)结构简单,容易加工;(2)圆柱型开有卡槽的突台,方便硅片的安装,无需调整突台的角度,安装效率高。
附图说明
为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解,下面根据具体实施例并结合附图,对本实用新型作进一步详细的说明,其中
图1为本实用新型结构示意图。
其中:1圆柱结构,2上突台,3下突台,4上卡槽,5下卡槽。
具体实施方式
实施例(1)
见图1,本实用新型中部为圆柱结构1,其上部和下部设有上突台2和下突台3,上突台2和下突台3为开有卡槽的圆柱体。上下两个突台上分别开有上卡槽4和下卡槽5位置为突台尾端且紧邻中部圆柱结构1的位置且上卡槽4和下卡槽5为沿圆柱结构1对称的。
以上所述的具体实施例,对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已,并不用于限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造