[实用新型]石墨舟陶瓷圈

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种陶瓷圈，特别涉及一种石墨舟陶瓷圈。

背景技术

太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率。这个工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，经过一定的条件产生化学反映，在硅片表面镀上一层膜。

石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率，现有石墨舟包括：石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为：将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片，然后，将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。

石墨舟上固定有不同数量的石墨舟片，石墨舟片是用陶瓷杆穿套起来的，石墨舟片之间依靠同样穿套在陶瓷杆上的陶瓷圈来控制距离。硅片非常轻薄，厚度为18丝，且易碎。在将硅片放入石墨舟中时，现有陶瓷圈形状不便，尺寸过大，常因为硅片碰到陶瓷圈发生碎裂，且陶瓷圈取出和放置时不方便，且清洗时清洗的强酸不易排出，容易腐蚀陶瓷圈。

实用新型内容

本实用新型的目的是解决上述不足，提供一种形状及大小合适，方便硅片放入，易排出清洗强酸的陶瓷圈。

实现本实用新型目的技术方案是：一种石墨舟陶瓷圈，其主体为圆环状结构，包括外表面，内表面，内表面上开设导流槽；所述外表面直径为8mm；内表面直径为 6.3 mm。

上述石墨舟陶瓷圈，在主体圆环状结构上末端有一个半圆形缺口。

本实用新型具有积极的效果：（1）结构简单，实用；（2）形状尺寸合适，便于放入硅片，不易发生硅片因碰撞陶瓷圈而碎裂；（3）直径小，轻便节能环保。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中

图1为本实用新型结构示意图。

其中：1外表面，2内表面，3导流槽。

具体实施方式

实施例（1）

见图1，本实用新型石墨舟陶瓷圈，其为圆环状结构，包括外表面1，内表面2，外表面直径为8mm；内表面直径为6.3mm；内表面上开设导流槽，在主体圆环状结构上末端有一个半圆形缺口。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。